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赵小丽

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：深圳大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇调制
  • 1篇压力传感器
  • 1篇强度调制
  • 1篇微机电系统
  • 1篇力传感器
  • 1篇机电系统
  • 1篇光纤
  • 1篇光纤光学
  • 1篇光纤压力传感...
  • 1篇光学
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇传感器技术
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇深圳大学
  • 1篇黑龙江大学

作者

  • 1篇李学金
  • 1篇耿优福
  • 1篇邱成军
  • 1篇邓元龙
  • 1篇洪学明
  • 1篇赵小丽

传媒

  • 1篇深圳大学学报...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于F-P干涉的强度型光纤压力传感器被引量：3
2011年
研究基于强度解调技术的Fabry-Perot干涉型光纤微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)压力传感器.该传感器采用MEMS各向异性腐蚀工艺加工的方形硅杯,其硅杯结构尺寸和表面光洁度比圆形压力敏感膜一致性好.传感器采用大面积比的方法,降低硅敏感膜片弯曲变形所引起的非线性测量误差,新增参考光路以补偿光源功率波动对测量的影响.在0～38kPa压力范围内实现了单值测量,相对灵敏度达到0.7%/kPa.实验与理论分析结果一致,具有很好的测量重复性.提出的多波长和多传感融合的测量方法,可用于扩大测量范围,提高灵敏度.
邓元龙赵小丽李学金耿优福洪学明邱成军
关键词：传感器技术光纤光学微机电系统强度调制
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