刘江
- 作品数：8 被引量：17H指数：3
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 一种显微成像景深延拓的方法及显微成像装置
- 本发明提供一种用于光学元件疵病检测中显微成像景深延拓的方法，该方法包括：在显微成像装置中加入光瞳滤波器；对加入了光瞳滤波器后的显微成像装置进行分析，并根据分析结果对光瞳滤波器的参数进行选择；根据至少一个评价因素对光瞳滤波...
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- 文献传递
- 一种显微成像景深延拓的方法及显微成像装置
- 本发明提供一种用于光学元件疵病检测中显微成像景深延拓的方法，所述方法包括：在显微成像装置中加入波前编码板；根据显微成像装置的物镜的倍率对加入波前编码板后的光线入射角度进行分析；根据景深延拓及适应不同倍率显微物镜成像的要求...
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- 文献传递
- 快速傅里叶变换与泽尼克模式拟合的条纹投影面形恢复算法
- 2013年
- 针对条纹投影偏折法中需要多次迭代进行面形恢复,提出一种结合快速傅里叶变换(FFT)算法与泽尼克(Zernike)模式拟合的算法(FFT-泽尼克)。数值仿真结果表明,直接使用泽尼克模式拟合,需要迭代15次,用时1min以上,而使用FFT-泽尼克算法,迭代5次已收敛到理想精度。在保证计算精度在纳米量级的情况下,计算时间也缩短了近2/3。
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- 关键词：光学检测
- 光学元件疵病检测中显微成像景深延拓的方法和系统
- 本发明公开了一种光学元件疵病检测中显微成像景深延拓的方法和系统。该方法包括步骤：根据光学元件疵病检测系统设计非整数次幂波前编码板的位相函数；根据光学元件疵病检测系统的景深延拓要求，优化所述非整数次幂波前编码板的位相函数的...
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- 文献传递
- 基于光强自标定移相算法检测光学面形被引量：8
- 2014年
- 考虑菲佐型波长移相干涉仪中波长可调谐激光器光强与调节电压之间的关系会对相位计算精度造成影响,本文提出了一种基于光强自标定的波长移相算法。首先,分析了波长可调谐激光器调节电压与输出光强之间的关系,建立了数学模型;然后,依据最小二乘判据,推导出了波长移相干涉仪的光强自标定移相算法。最后,实施了仿真实验,通过计算机生成背景光强具有一定变化的12幅干涉图,利用所提出的算法进行了相位恢复。结果表明,提出的算法可以很好地免疫激光器的光强变化,实现高精度的相位恢复。对口径为100mm的平面镜的测量结果显示RMS为0.005λ,PV为0.073λ。与ZYGO干涉仪测量结果的比较显示,两次测量面形的偏差RMS为0.0014λ,PV为0.022λ。得到的结果证明了算法的可行性及在菲佐型波长移相干涉仪中的实用性。
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- 关键词：面形检测
- 免疫投影基准光强变化的五步移相算法在条纹投影偏折法中的应用被引量：5
- 2013年
- 为了提高条纹投影偏折法对自由曲面的测量精度，通过分析投影到待测面的条纹光强变化形式，推导出一种可以免疫光强变化的五步移相算法，并通过频域傅里叶分析论述了该算法的可行性。数值实验结果表明，免疫光强变化的五步移相算法在基准光强变化1％～5％，杂散光噪声为0．1％～0．5％的情况下，相位计算精度峰值为0．0042λ，均方根值为0．0014λ，在消除离焦影响后，相位计算精度可以达到0．00092。与其他移相算法的对比分析，进一步说明了该算法的优势，免疫光强变化五步移相算法在利用条纹投影偏折法测量自由曲面领域有着较高的应用价值。
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- 关键词：光学检测
- 利用泽尼克位相型光瞳滤波器实现景深延拓及超分辨被引量：4
- 2015年
- 为了对显微光学系统实现景深延拓和超分辨,设计了一种基于泽尼克多项式的位相型光瞳滤波器,并分析了其对光学系统在焦点附近光强分布的改善。结果表明,与传统显微光学系统相比,加入泽尼克位相型光瞳滤波器后,系统景深延拓了4.15倍,分辨率提升了1.3倍。同时,与其他两种形式的光瞳滤波器进行了比较,进一步说明了泽尼克位相型光瞳滤波器的优势。设计的泽尼克位相型光瞳滤波器在疵病的显微检测中具有一定的实际意义和应用价值。
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- 关键词：成像系统光瞳滤波器景深延拓超分辨
- 疵病检测中适用于不同倍率物镜的波前编码板优化设计
- 2016年
- 为了更有效地对光刻投影物镜进行疵病显微检测,通过对波前编码(WFC)板上光线入射角度及其系数之间变化关系的分析,设计和优化了一个可以同时适用于5X、10X和20X显微物镜的WFC板。设计结果表明,加入优化设计的WFC板后,分别对5X、10X和20X显微物镜延拓了3到10倍的景深;同时,光学系统的调制传递函数(MTF)在空间截止频率附近都能保持较好的数值,保证了其应有的分辨率。通过成像仿真实验,对比了加入WFC板前后的不同倍率显微物镜的离焦成像能力。结果表明,所设计的WFC板对不同倍率的显微物镜都有良好的景深延拓能力,在疵病显微检测中具有良好的适应性和有效性。
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- 关键词：显微物镜光学检测
