周鹏
- 作品数:10 被引量:3H指数:1
- 供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 可编译的结构光投影系统
- 本发明公开了可编译的结构光投影系统,所述可编译的结构光投影系统包括图像编译单元、控制中心、光源、MEMS微镜以及反馈单元等器件。图像编译单元用于根据输入的编译语言对待投影的结构光的图案信息进行编译;控制中心用于控制光源向...
- 周鹏沈文江黄艳飞李小光
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- 消除激光散斑的光源系统以及投影装置
- 本发明公开了一种消除激光散斑的光源系统,其包括:激光光源模块,用于产生包括红色光、绿色光和蓝色光的激光光束;光束扫描机构,用于将所述激光光束反射出,所述光束扫描机构周期性地摆动,将所述激光光束扫描形成发散的面光源;第一透...
- 沈文江周鹏吴东岷王懋
- 文献传递
- 人脸识别系统及其扫描装置
- 本发明公开了人脸识别系统及其扫描装置,所述扫描装置包括红外激光器、透镜以及扫描振镜。所述红外激光器用于发出红外激光;所述透镜用于将所述红外激光汇聚于所述扫描振镜上,使所述红外激光经过所述扫描振镜的反射后在被扫描对象的表面...
- 沈文江周鹏黄艳飞
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- 基于MEMS微镜角度反馈的新型封装应力隔离结构被引量:3
- 2022年
- 在微机电系统微镜转轴处集成角度传感器,可用来检测镜面偏转角度实现闭环控制,但封装和实际工况的扰动会给微镜结构引入额外应力,造成压阻角度传感器的灵敏度漂移。为提高微镜在应用场景中偏转角的控制精度,减小封装热应力给集成压阻角度传感器带来的误差信号,提出了一种应力隔离结构。当环境温度变化时,微镜的封装会引入额外的应力,通过理论计算得到这种应力会引起芯片的轴向形变。为探究轴向形变对压阻角度传感器输出特性的影响,建立了压阻传感器的受力分析模型,计算结果表明,轴向应力会改变压阻角度传感器的输出幅值,是导致误差信号的主要因素。利用微纳加工技术制备集成压阻角度传感器的微镜,实验结果表明:传统结构芯片在12μm的轴向拉伸和轴向压缩下,压阻角度传感器的灵敏度从19.22 mV/°增加到20.16 mV/°,变化幅度为0.94 mV/°,其灵敏度随着形变量呈现明显的发散趋势;而有应力隔离结构的芯片在相同形变条件下,传感器的灵敏度则从19.37 mV/°增加到19.67 mV/°,变化幅度收敛至0.3 mV/°,有效地提高了角度传感器在不同形变条件下的稳定性。在机械可靠性方面,两种结构均通过了抗冲击和抗振动测试。
- 钱磊胡杰单亚蒙王俊铎周鹏周鹏
- 关键词:微机电系统压阻传感器
- 微型二维激光扫描像源及投影系统
- 本实用新型公开了一种微型二维激光扫描像源及投影系统。微型二维激光扫描像源包括:激光光源、透镜单元、扫描振镜单元、显示单元和控制单元,所述透镜单元和扫描振镜单元依次设置于所述激光光源和显示单元之间,所述激光光源至少用以发射...
- 沈文江吴东岷李敏余晖俊周鹏
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- MEMS微镜结构及其应用
- 本发明公开了一种MEMS微镜结构及其应用。监控MEMS微镜运动状态的方法包括:在MEMS微镜上设置光电探测器,所述光电探测器能够与所述MEMS微镜同步运动,其中,所述光电探测器具有纳米光栅结构,所述纳米光栅结构与所述ME...
- 余晖俊沈文江周鹏
- 一种低散斑激光光源以及投影装置
- 本发明公开了一种低散斑激光光源,其特征在于,所述低散斑激光光源包括封装在壳体内的多个半导体激光器,所述多个半导体激光器呈M行×N列的阵列排布;其中,M和N均为整数,且M≥1,N≥2。本发明还公开了包含了应用如上所述低散斑...
- 刘建平任霄钰沈文江周鹏李德尧张立群张书明杨辉
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- 计算机存储介质、激光雷达系统及其同步方法
- 本发明提供了一种计算机存储介质、激光雷达系统及其同步方法,激光雷达系统包括激光源、第一MEMS微镜、第二MEMS微镜以及探测器,所述同步方法包括:将第一MEMS微镜和第二MEMS微镜平行放置;实时获取第一MEMS微镜、第...
- 沈文江周鹏李小光史庆刚
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- 人脸识别系统及其扫描装置
- 本发明公开了人脸识别系统及其扫描装置,所述扫描装置包括红外激光器、透镜以及扫描振镜。所述红外激光器用于发出红外激光;所述透镜用于将所述红外激光汇聚于所述扫描振镜上,使所述红外激光经过所述扫描振镜的反射后在被扫描对象的表面...
- 沈文江周鹏黄艳飞
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- 一种互动激光投影系统
- 本发明公开了本发明提供一种互动激光投影系统,其包括图像投影显示模块,用于通过扫描微镜将激光偏转反射至投影面,以形成具有可见光图像和红外图像的虚拟互动界面;图像采集模块,至少用于采集所述虚拟互动界面上的红外图像;图像处理模...
- 沈文江吴东岷周鹏黄艳飞
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