康燕
- 作品数:7 被引量:11H指数:2
- 供职机构:中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- 离轴非球面在细磨与粗抛阶段的波面再现技术被引量:1
- 2017年
- 基于付科法的离轴非球面波面再现检测技术,通过对付科检测过程的数学分析,建立了离轴非球面波面再现的数学模型,提出了波面整合算法,通过对两幅阴影图灰度值积分、去倾斜及波面整合等数据处理再现出被检离轴非球面的波面误差.在被检离轴非球面两个方向的弥散斑分别为0.152mm和0.284mm时,干涉检测得到其面形误差峰谷值为1.110μm、均方根值为0.194μm,且两种检测方法的波面轮廓相一致.实验结果验证了基于付科法的离轴非球面再现技术的正确性,可以应用于指导离轴非球面在细磨粗抛阶段的加工并且实现与精抛光阶段干涉检测的有效衔接.
- 武中华袁吕军朱永田何丽康燕苏志德孔维斌
- 关键词:离轴非球面光学检测
- 一种可矫正图像横向偏移的光学镜面相位恢复算法被引量:2
- 2020年
- 在光学镜面相位恢复检测中,由于CCD相机的横向失调和光路中倾斜误差的存在,采集图像会发生错位,影响检测结果的准确性.为了克服光路校准带来的困难,基于快速傅里叶变换图像配准算法以及梯度相位恢复算法,提出了亚像素图像配准相位恢复(SIRPR)算法.通过仿真,验证了该算法对于光路的横向偏移和镜面倾斜具有良好的矫正作用.对一块直径为110mm的凹面反射镜进行实验测量,并利用SIRPR算法处理含明显错位光斑的光强图,将计算获得的面形结果与干涉仪直接测量的结果进行对比,面形之差的方均根值为0.1047λ(λ为波长),验证了算法的准确性.
- 类维政袁吕军苏志德康燕武中华
- 关键词:相位恢复相位测量光学检测光学制造
- 大口径异形离轴非球面镜的气囊抛光系统及其工作方法
- 大口径异形离轴非球面镜的气囊抛光系统及其工作方法,以磨镜机为载体,抛光系统由数控系统、气囊抛光装置及配重结构组成,气囊抛光装置由柔性气囊以及双摆头结构组成,采用配重浮动结构悬挂于配重杆前端,始终以固定的压力浮在被抛光镜面...
- 康燕张珑袁吕军
- 基于非线性优化方法的离轴非球面轮廓测量面形恢复技术被引量:1
- 2019年
- 轮廓测量是非球面光学镜面的重要测量手段,然而在测量过程中由于测量坐标系与理论坐标系间存在偏离,测量结果中存在误差.本文分析了离轴非球面的测量坐标系与理论坐标系间的平移和偏转误差在面形结果中引入的测量误差形式,根据最小二乘原理建立优化函数,依照函数特性通过数值差分法快速求解梯度并利用非线性优化方法优化偏差,从而将该误差从测量结果中剔除.仿真分析表明这种方法能在镜面面形残差和测量系统的随机误差的影响下有效恢复镜面面形信息.利用该方法实际指导直径为570 mm的离轴椭球面的加工,经过四个周期的测量-研磨过程使该镜面面形误差的PV值从34.80μm收敛至13.83μm,RMS从3.28μm收敛至1.89μm.为了进一步比较,对一块220 mm×96 mm矩形离轴椭球面测量,验证了该方法测量异形离轴镜面的适用性和通用性.
- 类维政袁吕军康燕苏志德
- 关键词:离轴非球面
- 大口径异形离轴非球面镜的气囊抛光系统及其工作方法
- 大口径异形离轴非球面镜的气囊抛光系统及其工作方法,以磨镜机为载体,抛光系统由数控系统、气囊抛光装置及配重结构组成,气囊抛光装置由柔性气囊以及双摆头结构组成,采用配重浮动结构悬挂于配重杆前端,始终以固定的压力浮在被抛光镜面...
- 康燕张珑袁吕军
- 文献传递
- 大非球面度快焦比中大口径高次非球面检测被引量:4
- 2016年
- 近年来,大口径、大非球面度、快焦比、高次非球面光学元件在天文光学、空间光学和地基空间目标探测与识别等领域得到了越来越广泛的应用。目前对此类光学元件的检测一般采用零位补偿法或消回程误差的非零位检测法。其中消回程误差的非零位补偿法处理过程复杂,缺乏检测直观性,且测量精度无法保证,故在针对一些面形精度要求非常高的镜面时并不适用。以口径为1020mm、焦比为1/0.5、非球面度为1.8mm、高次项达6次的凹高次非球面反射镜检测为研究基础,提出了分阶段设计零位补偿检验光路的新思路,以满足此类镜面在粗抛、精抛、干涉仪检测等不同研制与检验阶段的需求。最终检测面形精度达到了λ/50。
- 何丽武中华康燕苏志德
- 关键词:光学设计
- 离轴非球面零位补偿检验的非线性畸变校正被引量:3
- 2019年
- 在大口径、快焦比非球面的补偿检验中,入射光线在短距离内发生大角度急剧折转,导致干涉仪面形检验结果图像产生非线性畸变,严重影响了数控小磨盘抛光的位置精度和误差去除效率。为了校正离轴非球面在补偿检验中产生的图像畸变,提出了一种校正非线性畸变图像的方法,通过同心环带法确定畸变中心位置并利用光线追迹建立被检镜到干涉图的映射关系。针对某一光学系统的520 mm×250 mm的离轴抛物面主镜进行了畸变图像的校正,校正结果面形与工件面形的位置偏差降到1 mm以下,满足小磨盘抛光的工作要求。
- 厉宏兰袁吕军徐节速李倩李倩
- 关键词:非线性光学光线追迹离轴非球面