李峰
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国航天科工集团公司更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>
- 气压对MEMS梳状线振动陀螺仪影响的研究被引量：1
- 2009年
- MEMS梳状线振动陀螺仪阻尼包括结构阻尼和流体(空气)阻尼,而对于此种结构而言,空气黏性阻尼比结构阻尼大的多。由于气压的变化会引起空气黏性系数的变化,因而会引起MEMS梳状线振动陀螺仪谐振频率、阻尼系数、零偏等参数的变化。因此,研究气压变化对MEMS梳状线振动陀螺仪的影响是非常必要的。根据MEMS梳状线振动陀螺仪的结构特点,建立了压膜阻尼和库埃特流阻尼模型及气压与阻尼的关系模型,研究了气压对两种阻尼的影响以及对MEMS梳状线振动陀螺仪输出电压的影响。通过研究分析可知,气压在小于一个大气压时对压膜阻尼系数的影响很大,进而对MEMS梳状线振动陀螺仪输出的幅值影响也较大。气压在接近或者大于一个大气压时,MEMS梳状线振动陀螺仪随着气压的变化不大,因此将此种陀螺仪的气压控制在一个大气压。
- 郭秋芬孙枫郝燕玲李峰朱强
- 关键词：阻尼系数气压
- 微型线振动陀螺仪中机械静电力耦合变形研究
- 2009年
- 针对此现象建立微型线振动陀螺仪结构不对称造成的静电力耦合误差模型以及梳齿变形模型,使用Matlab软件进行仿真分析.同时根据有限元分析的方法,使用ANSYS软件进行分析,得到由于结构不对称造成的电场分布图、静电力分布图和变形图.这些分析研究对提高微型线振动陀螺仪的精度起着非常重要的作用.
- 郭秋芬李峰谢莉莉
- 关键词：ANSYS
