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王程伟

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文基金：国家教育部“211”工程更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电荷
  • 1篇量计
  • 1篇静电驱动
  • 1篇传感

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇余文革
  • 1篇方杰
  • 1篇刘理天
  • 1篇刘冰
  • 1篇刘泽文
  • 1篇王程伟

传媒

  • 1篇纳米科技

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种用于质量和电荷传感的纳米谐振器分析和模拟被引量：1
2005年
文章介绍了一种纳米双悬梁支撑微板谐振器。根据动力学微分方程模型，对器件的谐振特性进行模拟，结果表明，以Si3N4为功能材料，最小线宽175纳米的器件，其谐振频率18．1MHz。在常温真空环境下，采用静电驱动的双悬梁支撑结构，有效地抑制了扭转模式谐振的干扰。用该结构作质量传感器，精度达到6．25×10^-19g／Hz，作电荷计，精度可以达到0．3e／Hz（e为电子电荷）。
刘冰刘泽文王程伟方杰余文革刘理天
关键词：静电驱动
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共1页<1>
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