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聂洪彬

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：重庆科技学院电子信息工程学院更多>>
发文基金：重庆市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇碳纳米管
  • 1篇气相生长
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米管
  • 1篇FIB

机构

  • 1篇中国石油天然...
  • 1篇重庆科技学院
  • 1篇重庆光电技术...

作者

  • 1篇向毅
  • 1篇李斌
  • 1篇江永清
  • 1篇吴英
  • 1篇聂洪彬
  • 1篇许迪

传媒

  • 1篇半导体光电

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于FIB技术的微纳单元的研制
2009年
利用碳纳米管表面气相生长技术和聚焦离子束(FIB)加工等微纳加工技术,开展了微纳单元的工艺方法研究,探索了基于碳纳米管的微纳结构单元的实验制备工艺。结构表征和电学特性测试结果表明,这种制备工艺可以加工出具有欧姆接触或肖特基接触的微纳单元,为基于碳纳米管的微纳单元的制作提供了一定的思路。
吴英江永清李斌向毅许迪聂洪彬
关键词：碳纳米管气相生长FIB
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共1页<1>
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