刘霞
- 作品数：2 被引量：7H指数：1
- 供职机构：电子科技大学光电信息学院更多>>
- 发文基金：四川省自然科学基金教育部科学技术研究重点项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电气工程理学更多>>
- 半导体腐蚀进程中表面液层热对流信息的红外表征
- 2007年
- 研究了半导体腐蚀过程中液层的红外热像分布特性。经处理分析,实现了对任意时刻表面液层的热对流信息的红外表征。半导体腐蚀过程中产生的化学反应会有热量的释放或吸收,这会引起液层之间能量的交换,从而导致腐蚀液温度的变化。利用红外热像仪可以实时监测这一特性,也可为深入分析、表征液层热对流奠定基础。实验结果表明,越靠近半导体材料与腐蚀液接触面的位置,液层的温度变化越显著,且以半导体材料为中心,由内而外呈梯度状降低,水平液层间的热对流速率明显大于竖直液层间的速率;提取的红外热像截面图可以清楚地表征水平液层及竖直液层的温度变化特性。该方法对分析任意时刻液层的热对流信息具有重要的价值。
- 刘霞叶玉堂刘霖吴云峰陈镇龙罗颖田骁王昱琳
- 关键词：红外热像化学腐蚀截面热对流
- 多路输出程控恒流源设计被引量：7
- 2010年
- 为了满足LED照明对恒流源的需求,设计了一种多通道并联输出程控恒流源,每一通道恒流源可独立控制,独立使用。分析了多通道恒流源系统的特点,采用英飞凌16位微控制器实现系统的智能化控制。描述了该系统的工作原理和硬件结构,给出了恒流源系统的软件设计和实验结果。实验结果表明,该系统电流步进值为1 mA,控制精度达到0.1%,系统工作稳定。
- 张薿文吴云峰胥嫏岳松刘霞
- 关键词：恒流源单片机BUCK电路脉冲宽度调制
