戚伟俊
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：上海大学机电工程与自动化学院机械自动化工程系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市教育委员会重点学科基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学更多>>
- 微间隙液体粘性阻力分析
- 2008年
- 微谐振器是微机电系统中应用最广泛的器件之一,由于加工工艺和环境潮湿等原因,在微间隙结构中常常会有液体存在,从而产生液体粘性阻力,对可动部件的运动、微器件性能的发挥产生影响。通过液体粘性阻力的分析,建立了上平板做简谐振动的微间隙液体粘性阻力模型,进行了理论计算及仿真分析。结果表明:液体粘性阻力随着平板振动的频率、最大振动速度、流体密度、流体动力粘度以及平板面积的增大而增大,而仿真分析得出的边界层厚度和流体对平板的剪切应力与理论值基本符合。
- 戚伟俊沈雪瑾侯利程吴文蕾李科委
- 关键词：微机电系统
- 基于柔性铰链支承的热驱动硅微机械手的力学模型及性能分析被引量：4
- 2008年
- 微机械手是一种典型的微型执行器,是微型机电系统(MEMS)的重要研究内容之一。以基于柔性铰链的电热驱动硅微机械手为研究对象,建立了微夹钳的二次超静定力学模型,导出了钳口处输出位移的解析式,并在此基础上对硅微机械手的性能进行了分析。分析表明,微夹钳的输出位移与柔性铰链切割半径成正比,切割半径越大,输出位移越大;对各加载电压下的微夹钳输出位移,其试验和理论结果的变化趋势一致,即微夹钳输出位移随输入电压的增加基本呈线性增加。
- 沈雪瑾王旭戚伟俊李科委吴文蕾
- 关键词：微型机电系统柔性铰链
