沈坚
- 作品数:7 被引量:29H指数:3
- 供职机构:江苏大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金江苏省高校自然科学研究项目国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:电子电信理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 镀Pt探针与ZnO纳米棒接触的电学特性研究
- ZnO纳米结构具有优良的电学和光学特性,可用于多种纳尺度光电子器件。但在这些器件的应用中,要求金属与半导体间形成稳定可靠的接触,因此金属与半导体的接触问题是决定纳米材料电传输性能的关键技术。本文首先采用磁控溅射技术在医用...
- 姜燕沈坚张伟
- 文献传递
- 飞秒激光微加工Au膜被引量:6
- 2009年
- 飞秒激光微加工薄膜对于MEMS设备的制造是一个急需的技术。文章使用波长为775nm的Ti:sapphire飞秒激光器(脉宽约为130fs,频率为1000Hz)研究厚度为4μm的Au薄膜,在不同加工参数下的结构特性,发现单脉冲消融时消融直径随着脉冲能量的增大而增大。当单脉冲能量一定时,消融直径随着脉冲的个数变化不大。计算得到Au膜的单脉冲消融阈值为Fth=0.7J.cm-2,使用脉冲能量略大于阈值时,在薄膜上所划出的线为凸起状;当超过阈值时所得直线为凹起状。同时发现在脉冲能量一定时所得线宽随着加工速度的增加而减小;当加工速度一定时线宽随着能量的增加而增大。
- 袁冬青周明蔡兰沈坚
- 关键词:飞秒微加工
- 飞秒激光辐射诱导金属表面微纳结构研究被引量:12
- 2009年
- 通过1 kHz的飞秒脉冲(脉宽130 fs,中心波长800 nm)对厚度为60μm的不锈钢65Mn表面进行飞秒微加工,通过拟合得到65Mn的消融阈值为0.5 J.cm-2。研究了飞秒激光作用下表面形成的多种微结构,其中包括纳米孔及纳米柱状物。同时讨论了激光能量和作用脉冲个数对微结构形成的影响。随着周期波纹结构的形成,发现在各种能量和脉冲个数条件下,周期结构的周期约为入射脉冲的波长。相同的激光功率下,在不同加工速度和加工次数下对不锈钢进行表面微加工,得到了规则的圆孔阵列结构。
- 周明袁冬青李健范晓萌戴娟沈坚王辉李保家蔡兰
- 关键词:飞秒激光微加工表面形貌
- 水热法制备不同形貌的氧化锌纳米结构被引量:9
- 2011年
- 采用水热法,用甲酰胺水溶液和锌片建立反应体系,在不同种晶层上制备出不同形貌的ZnO纳米结构,所用基底有Si片、镀有ZnO薄膜的Si片、镀有ITO薄膜的Si片、涂有ZnO粉末的Si片等,研究了不同的种晶层对ZnO纳米结构的形貌的影响。在不同温度下,分别在镀有ZnO薄膜和ITO薄膜的医用载玻片衬底上生长ZnO纳米结构,研究了温度在水热法中的作用及种晶层对纳米杆长度的影响。实验中用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)对纳米聚集体进行了表征。SEM表征结果表明不同种晶层上获得的ZnO纳米结构形貌差异很大;反应时间、甲酰胺水溶液浓度以及反应温度对ZnO纳米阵列形貌都有着一定的影响;在ZnO薄膜上生长的纳米杆较在ITO薄膜上生长的纳米杆长。SEM图像同时表明氧化锌纳米杆随着温度的增大,纳米杆的长度和杆径增大。X射线衍射峰在34.6℃有很强的(002)纤锌矿衍射峰,该峰表明衬底上有高度c轴取向的大面积纳米杆阵列和较好的结晶质量。
- 李琛周明沈坚
- 关键词:纳米杆ZNOITO水热法
- 激光诱导等离子体技术(LIBS)在金薄膜加工微检测中的应用研究被引量:3
- 2008年
- 薄膜材料微加工是微纳技术、微机电系统、光电子领域的核心技术。文章提出了针对薄膜加工时缺乏有效的质量控制手段,应用激光诱导等离子体(LIBS)技术进行过程表征的方法。研究了脉冲激光微加工过程中等离子体量与激发条件的关系。得出了在低频(<20Hz)和在确定能量水平条件下,等离子体量相对稳定,不依赖于脉冲次数。在单脉冲条件下,激发等离子体量随着能量的升高而增加。根据等离子体量和元素类别可实现对微加工过程去除量进行实时表征。
- 袁冬青周明沈坚任乃飞蔡兰
- 关键词:LIBS等离子体微加工实时控制
- 外加载荷对镀Pt探针与ZnO纳米棒接触电学特性的影响
- 2011年
- 利用原子力显微镜研究了镀Pt探针与生长在银基底上的单根ZnO纳米棒接触的电学特性。实验测得的I-V特性曲线呈基本对称的非线性形状,表明镀Pt针尖与ZnO纳米棒顶端形成了良好的肖特基接触。同时,研究发现随着外加载荷的增加,针尖与样品间接触面积增大,使得反向截止电压和正向导通电压均有所升高,而理想因子降低。
- 姜燕沈坚张伟
- 关键词:氧化锌纳米棒I-V特性肖特基原子力显微镜
- 联合体驱使生长法制备ZnO纳米棒及其表征
- 2010年
- 在常压环境下采用联合体驱使生长(Aggregation-driven growth)法在镀有ZnO纳米薄膜的医用盖玻片衬底和锌箔上制备了不同直径、高取向、密集生长的ZnO纳米棒阵列结构,发现平均直径与生长时间呈线性关系。X射线衍射(XRD)谱图中出现了较强的(002)峰,表明制备的纳米棒阵列具有高度c轴择优生长取向;高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和选区电子花样衍射图谱(SAED)结果表明我们得到的单根纳米棒为沿(002)生长的单晶结构。分析确定盖玻片上的纳米棒阵列是以ZnO纳米薄膜缓冲层上的ZnO种子颗粒为成核点生长形成的。
- 沈坚周明李琛张伟吴春霞蔡兰
- 关键词:纳米棒阵列ZNO水热法