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贾少旭
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
毕津顺
中国科学院微电子研究所
韩郑生
中国科学院微电子研究所
罗家俊
中国科学院微电子研究所
曾传滨
中国科学院微电子研究所
刘刚
中国科学院微电子研究所
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核反应影响半导体器件单粒子翻转的Geant4仿真
被引量:2
2012年
利用MC工具Geant4研究核反应对于半导体器件单粒子翻转效应(SEU)的影响,构建了研究的一般方法。辐照过程中电学与核反应物理过程的作用决定器件中敏感单元产生的淀积电荷量的分布,核反应的物理过程对于沉积较高电荷量的贡献很大。此外,利用Geant4分析静态随机存储器(SRAM)敏感单元上的后段互连材料钨对于单粒子翻转的反应截面的影响,并进行了模拟仿真。模拟结果表明,钨层的存在会加重存储器件的单粒子翻转效应。
贾少旭
毕津顺
曾传滨
韩郑生
关键词:
GEANT4
核反应
单粒子翻转
反应截面
Geant4应用于半导体器件单粒子翻转效应的研究
利用蒙特卡洛工具Geant4模拟半导体器件的单粒子翻转效应(SEU),并构建了基于Geant4工具模拟半导体器件及电路单粒子翻转效应的一般方法。辐照过程中主要的电学与核反应物理过程的作用决定了器件中敏感单元产生的沉积电荷...
贾少旭
毕津顺
刘刚
罗家俊
韩郑生
关键词:
GEANT4
核反应
文献传递
后端互联工艺对集成电路单粒子翻转效应的影响
2017年
基于Geant4工具,进行高能粒子入射的蒙特卡洛仿真。介绍了仿真理论,以总反应截面和淀积电荷为参量,研究了后端金属互联工艺对于半导体集成电路单粒子翻转效应(SEE)的影响。实验结果表明,钨层的存在会对半导体器件的单粒子翻转效应有一定的增强作用。金属铝/铜与入射粒子的核反应作用效果相近,相交点对应的电荷淀积量在0.66 p C。大于此电荷量,铝的总反应截面大于铜;而小于此电荷量,则是铜的总反应截面大于铝。欧姆接触的阻挡层钛和氮化钛对单粒子翻转效应略有减缓作用。
毕津顺
贾少旭
韩郑生
罗家俊
关键词:
单粒子效应
集成电路
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