孔南
- 作品数：2 被引量：8H指数：1
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- UV-LIGA工艺误差对MEMS万向惯性开关性能的影响被引量：7
- 2017年
- 为提高微机电系统(MEMS)万向惯性开关的性能,实现工程化应用,对其进行工艺误差与性能关系研究.基于多层UV-LIGA工艺制作多个开关样机,进行主要结构尺寸测量,并确定工艺误差方向;从UV-LIGA工艺过程的曝光、显影与电铸、腐蚀3个阶段,分析误差的产生机理,并进一步分析单一结构误差、非对称误差和偏心误差对开关阈值和接触时间的影响.结果表明:弹簧线宽、厚度、侧壁倾角和两电极间隙等单一结构尺寸的增大会导致阈值增大;非对称误差会导致开关各向刚度不一致,使阈值散布更大;偏心误差会大幅度减小开关轴向阈值,而对径向阈值影响较小.对多个开关样机的测试结果验证了开关工艺误差及单一结构误差对阈值影响的正确性.
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- 关键词：UV-LIGA阈值
- 可识别载荷方位区间的MEMS万向惯性开关被引量：1
- 2017年
- 针对现有MEMS万向惯性开关不具备识别冲击载荷方位的问题,提出了可识别载荷方位区间的MEMS万向惯性开关。该开关主要由惯性质量块,四个独立的径向电极和一个轴向电极组成。通过采用特殊形状的惯性质量块以及在空间上合理布置四个相互独立的径向电极和一个轴向电极,开关可以依靠不同的电极闭合状态达到识别载荷方位区间的目的。仿真结果表明,所设计的万向惯性开关能够有效识别加速度载荷的空间方位且具有良好的抗过载性能。
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- 关键词：MEMS惯性开关
