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崔焕焕

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇衍射
  • 1篇衍射效率
  • 1篇实时监测
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇高宽比
  • 1篇大高宽比
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇田扬超
  • 1篇周杰
  • 1篇熊瑛
  • 1篇崔焕焕
  • 1篇刘刚

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于辅助结构实时监测大高宽比纳米结构显影过程的方法研究
2012年
提出了一种引入辅助结构作为显影过程的监测对象来实现对大高宽比纳米结构高度变化进行实时无损监测的方法。随着结构高度的变化,矩形光栅表现出明显的光学性质的变化,便于进行光学监测,适合用作辅助结构。使用光栅负一级和正一级衍射效率两个参数作为监测依据,首先通过观测它们的起伏变化得到结构大致的高度范围,然后通过观测负一级与正一级的比值得到结构高度的精确值,从而实现对大高宽比纳米结构高度的实时监测。以高度为3μm的纳米结构为例,设计了线密度为50线/mm和160线/mm的矩形光栅作为辅助结构来监测显影过程中结构高度的变化。模拟结果表明,通过监测光栅衍射效率的变化可以有效地监测纳米结构高度的变化,该方法适用于对大高宽比纳米结构的显影过程进行实时监测。
崔焕焕刘刚周杰熊瑛田扬超
关键词：微机电系统实时监测衍射效率
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共1页<1>
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