张旭 作品数:7 被引量:15 H指数:3 供职机构: 中国科学院上海光学精密机械研究所 更多>> 发文基金: 中国科学院战略性先导科技专项 国家自然科学基金 更多>> 相关领域: 理学 一般工业技术 机械工程 更多>>
溶胶凝胶ZrO_(2)/SiO_(2)宽带减反膜的制备与性能 2023年 采用溶胶凝胶法制备得到以正丙醇锆和正硅酸乙酯为前驱体的ZrO_(2)和SiO_(2)溶胶,通过TFCalc光学薄膜软件模拟了ZrO_(2)/SiO_(2)三层“宽M型”基频二倍频减反膜,并使用提拉法制备得到了该均匀膜层。三层减反膜在527 nm和1053 nm处的透过率约为99.5%,且透过率大于99%的波长范围均超过150 nm。经热处理后的膜层表面均方根粗糙度为1.34 nm,表面平整性良好;并运用1-on-1激光损伤阈值测试方法测得该减反膜的零几率激光损伤阈值达到36.8 J·cm^(-2)(1064 nm,10.7 ns)。 沈斌 张旭 张旭 熊怀 李海元关键词:溶胶凝胶 减反膜 双波长 旋涂法涂制溶胶凝胶改性SiO2减反膜性能研究 被引量:3 2019年 运用溶胶改性和溶剂置换的方法制备以癸烷为溶剂的SiO2溶胶,通过单面旋涂方法在方形50 mm×50mm×10mm的KDP晶体基片上制备均匀性良好的膜层。使用分光光度计测试涂膜的晶体基片,涂制三倍频及基频二倍频减反膜的KDP晶体基片在378nm和835nm处的透过率峰值均大于99.5%,膜层减反射效果良好。结合过滤技术及超声波清洗技术实现了膜层制备过程中的缺陷控制,将经过缺陷控制的三倍频减反膜涂制在洁净度高的熔石英陪涂片上,并在测试前进行激光(波长为355nm,脉宽为3ns)预处理,得到的三倍频减反膜的抗激光损伤阈值为(14.0±2.1)J·cm^2。 沈斌 李海元 张旭关键词:溶胶凝胶 二氧化硅 旋涂法 氙灯抽运液冷叠片式重复频率钕玻璃放大器研制 被引量:1 2019年 重复频率激光放大器是实现重复频率激光器的关键器件,其重复频率取决于对抽运及放大过程中产生热量的有效控制。针对千焦耳量级输出重复频率激光器的需求,通过合理的结构设计、冷却液选型及测试等,研制出一台基于氙灯抽运、钕玻璃增益介质、液体冷却、通光直径为Φ130mm的激光放大器样机。测试结果表明,该放大器样机可实现每分钟一次的重复频率运行,同时具备双程1.3189倍净增益,双程动态波前PV(peak to valley)平均值为0.2718波长(λ)(20℃,λ=1053nm,10发次计)和0.3223λ(30℃,λ=1053nm,10发次计)。 王冰艳 李养帅 张攀政 王利 刘强 朱海东 郭爱林 张艳丽 张旭 周琼 周申蕾 朱俭 马伟新 朱宝强 朱健强关键词:氙灯抽运 钕玻璃 多孔性二氧化硅减反膜胶体规律性研究 被引量:4 2014年 溶胶凝胶法制备减反膜在高功率激光装置中有着重要运用,通过控制水与正硅酸乙酯(TEOS)不同物质的量之比制备不同粒径大小的二氧化硅悬胶体及二氧化硅减反膜,可以研究悬胶体粒径大小对溶液及膜层的激光破坏阈值、光学减反效率稳定性影响。结果表明制备获得的多孔性SiO2减反膜透射率均高于99.5%,激光破坏阈值均大于62J/cm2(1064nm,15ns),其中粒径小的SiO2减反膜透射率达到99.75%,激光破坏阈值高达77.42J/cm2(1064nm,15ns)。随着水酯物质的量比值增大,悬胶体溶液平均粒径增大,当水酯物质的量比值大于3.5时粒径增大幅度加快;粒径在10nm以下的溶液具有优异的稳定性,溶液颗粒大小、粘度等性能基本保持不变。在不同湿度环境下研究不同粒径膜层的稳定性,所有膜层在高湿度环境中透射率有所下降,其中大粒径膜层下降更明显,化学膜更适合在湿度低的环境下使用。 沈斌 李海元 熊怀 张旭 唐永兴关键词:溶胶凝胶 稳定性 粒径 紫外激光波长(266nm)多孔二氧化硅减反膜 被引量:7 2020年 以正硅酸乙酯作为前驱体,乙醇作为溶剂,氨水作为催化剂,在碱催化体系下制备了高分散的SiO2溶胶;然后采用提拉法在不同浓度的SiO2溶胶涂膜液中制备了四倍频266 nm波长增透的SiO2减反膜,并对各膜层的性能进行了测试。测试结果表明:在浓度最大的SiO2溶胶中以4.5 cm·min-1的提拉速度制备得到的四倍频SiO2减反膜的性能最优,其在266 nm处的透过率达到了99.307%,表面粗糙度为1.339 nm,且透过率稳定性优异。 沈斌 熊怀 张旭 李海元关键词:溶胶凝胶 减反膜 二氧化硅 四倍频 高低温热处理溶胶凝胶SiO_2减反膜的稳定性 被引量:2 2016年 以正硅酸乙酯作为前驱体,乙醇作为溶剂通过溶胶凝胶法制备了二氧化硅悬浮液,经粒径测试观察了溶胶体系的平衡稳定性,颗粒粒径在4个月的时间内基本保持在6.5nm左右。运用提拉法以一定的速度在石英玻璃基片上涂膜,分别进行200℃和800℃马弗炉热处理。经过800℃热处理的膜层透过率曲线向短波方向移动,两者透过率峰值波长相差近210nm,但透过率峰值均超过99.8%,光学性能优异。在不同湿度环境下研究不同温度热处理的膜层稳定性,200℃热处理的膜层在不同湿度环境下透过率均大于99.9%,膜层峰值波长在高湿度环境中减小约150nm;800℃热处理的膜层在高湿度环境下透过率下降0.3%,膜层峰值波长基本保持在600nm。 沈斌 李海元 熊怀 张旭 唐永兴关键词:溶胶凝胶 二氧化硅 稳定性 溶胶-凝胶SiO_(2)减反膜的制备与光学性能研究 2024年 碱催化溶胶-凝胶多孔SiO_(2)减反膜具有优异的光学性能及抗激光损伤性能,是高功率激光装置中的重要组成部分,但其与光学元件之间的结合强度低,使得膜层易发生接触破坏。本研究以“神光II”高功率激光装置溶胶-凝胶多孔SiO_(2)减反膜为基础,通过提拉法在其表层涂覆致密的SiO_(2)薄层后得到机械强度提升的双层SiO_(2)减反膜(SiO_(2)-MTES),并与常用的单层氨固化SiO_(2)减反膜(SiO_(2)-HMDS)进行相关应用性能的综合比较。结果表明,涂覆SiO_(2)-MTES的熔石英在约800 nm处的峰值透过率大于99.6%,运用1-on-1激光损伤阈值测试方法测得该双层SiO_(2)减反膜的零几率激光损伤阈值为51.9 J/cm^(2)(1064 nm,9.1 ns),与涂覆SiO_(2)-HMDS的性能相当。同时,SiO_(2)-MTES膜层与水的接触角达到117.3°,且在相对湿度大于90%的高湿环境中膜层的透过率较稳定。多次擦拭实验结果表明SiO_(2)-MTES的耐摩擦机械强度明显优于SiO_(2)-HMDS,有效提升了膜层与光学元件之间的结合强度。 沈斌 张旭 张旭 熊怀 李海元关键词:溶胶-凝胶 减反膜 机械强度