杨苗苗
- 作品数:2 被引量:16H指数:2
- 供职机构:中国科学院电子学研究所更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术更多>>
- 微机械电容式加速度传感器测试电路研究被引量:6
- 2006年
- 在测量硅微电容式加速度传感器时,由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰,提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况,作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点,并提出了一种微电容检测的改进电路,用此电路对电容式加速度传感器进行了测试.数据表明,微加速度计灵敏度为1.63V/gn,可以检测到10-17F量级的电容值.
- 杨苗苗陈德勇王军波陈健毋正伟陈李
- 关键词:差分检测
- 微谐振传感器同频干扰的建模与消除被引量:10
- 2006年
- 主要研究了静电激励/电容拾振谐振式硅微加速度传感器的同频干扰问题,分析了几种干扰源,建立了同频干扰的电路等效模型,提出一种基于双端激励/双端检测的结构,采用二次差分的方式消除同频干扰。
- 陈健陈德勇王军波杨苗苗毋正伟陈李
- 关键词:微机械电子系统同频干扰