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潘春晖

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：西北工业大学更多>>
发文基金：中国航空科学基金西北工业大学基础研究基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇扫描镜
  • 1篇转角
  • 1篇静电驱动
  • 1篇非线性动力
  • 1篇非线性动力学

机构

  • 1篇西北工业大学

作者

  • 1篇乔大勇
  • 1篇练彬
  • 1篇曾琪
  • 1篇杨璇
  • 1篇夏长锋
  • 1篇潘春晖

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
梳齿分布结构对静电驱动二维微扫描镜机械转角的影响被引量：2
2014年
为增大静电驱动二维微扫描镜的机械转角,基于非线性动力学理论研究了不同梳齿结构对其振幅的影响,理论上得到发散型梳齿分布相较于平行型梳齿分布具有更大的机械转角。此外,采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺设计并制作了这两种结构的微扫描镜,并对其相关特性进行了测试。测试结果表明:在相同的驱动电压下,发散型结构始终都比平行型结构具有更大的机械转角,与仿真结果基本一致;当加载驱动电压为42 V的方波信号时,发散型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角可以达到12.3°、13.49°,而平行型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角则为10.25°、11.68°。
乔大勇杨璇夏长锋曾琪潘春晖练彬
关键词：扫描镜非线性动力学
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共1页<1>
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