王奇
- 作品数：4 被引量：9H指数：2
- 供职机构：大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金辽宁省普通高等教育本科教学改革研究项目更多>>
- 相关领域：理学文化科学环境科学与工程电子电信更多>>
- 开展磁控溅射镀膜探索研究性实验课程的尝试被引量：2
- 2017年
- 磁控溅射镀膜实验涵盖了理工科大学生所认知的真空、高电压、材料制备等知识.结合大连理工大学国家级物理实验教学示范中心在探索研究性实验方面积累的教学经验与方法、等离子体物理国家重点学科的知识储备以及三束材料改性教育部重点实验室自主开发、手动操作的磁控溅射镀膜设备的优势,尝试将磁控溅射镀膜用于大学探索研究性实验教学.介绍了开展此实验所需的知识构成与设备模块,阐述了实验的设计思想与方法、开展实验的前期准备、课堂组织、注意事项,分析了课程实施的主要困难,并给出了解决方案.
- 王奇王艳辉牟宗信赵纪军
- 关键词：镀膜技术磁控溅射
- 光刻系统实验教学平台搭建及课程开展被引量：3
- 2017年
- 目前我国高校开展的光刻教学课程主要集中在加工原理方面,普遍缺乏配合理论知识学习的实际工艺操作实验。大连理工大学国家级示范性微电子学院自主设计、搭建了光刻实验平台以满足学生学习实践的需要。介绍了光刻实验平台系统的设备模块构成以及知识体系,开展实验的前期准备、课堂组织、注意事项。此外,给出了部分结果,分析了课程实施的主要困难与解决方案。
- 王奇刘勐汪家奇
- 关键词：集成电路技术
- 基于分层次教学体系的大学物理实验预习模式的研究与实践
- 预习是大学物理实验教学的重要环节.介绍了针对分层次教学体系建立的"多层次、模块化、引导创新式"大学物理实验预习模式,及其具体实施方法和实践效果.
- 王艳辉刘升光李雪春秦颖王奇李淑凤
- 关键词：物理实验分层次教学
- 脉冲介质阻挡放电脱除N_2/NO体系中NO的模拟研究被引量：4
- 2016年
- NO是重要的大气污染物之一,为了深入了解脉冲介质阻挡放电去除N2/NO体系中NO的机理,采用一维自洽的流体力学模型对N2/NO中大气压脉冲放电进行了模拟研究,并分析讨论了各种放电参数对NO去除效率的影响。模拟结果表明:NO的去除主要通过还原反应N+NO→N2+O来实现;N原子是脱除NO的主要活性粒子,它来源于电压上升沿和下降沿的2次放电,并主要通过电子直接碰撞解离N2分子产生;放电中产生的N原子体积分数的高低直接决定NO的脱除效率;电压脉冲幅度越大,上升和下降时间越短,介质层越薄,或放电间隙越小,则脉冲放电产生的N原子体积分数就越高,越有利于NO的脱除;在其他参数不变时,存在1个最佳脉冲宽度,在此脉冲宽度下NO的脱除率最高。
- 王艳辉张瑞丽孙继忠张建红王奇王德真
- 关键词：介质阻挡放电脉冲电压
