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谢玉芳
作品数:
4
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供职机构:
中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
曹鸿涛
中国科学院宁波材料技术与工程研...
梁凌燕
中国科学院宁波材料技术与工程研...
吴卫华
中国科学院宁波材料技术与工程研...
王妹
中国科学院宁波材料技术与工程研...
张胜男
中国科学院宁波材料技术与工程研...
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中文专利
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电子电信
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机构
4篇
中国科学院宁...
作者
4篇
梁凌燕
4篇
曹鸿涛
4篇
谢玉芳
2篇
张胜男
2篇
王妹
2篇
吴卫华
年份
1篇
2019
1篇
2018
2篇
2016
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薄膜晶体管及制备方法和交互式显示装置
本发明公开了一种薄膜晶体管及制备方法和交互式显示装置,其中,薄膜晶体管包括衬底、栅电极层、栅介质层、沟道层、源电极层和漏电极层;其中,沟道层为锌锡氮氧薄膜;锌锡氮氧薄膜的化学式为:Zn<Sub>a</Sub>Sn<Sub...
梁凌燕
谢玉芳
曹鸿涛
文献传递
薄膜晶体管及其制备方法和显示装置
本发明公开了一种薄膜晶体管及其制备方法和显示装置,其中薄膜晶体管包括衬底、栅电极层、栅介质层、沟道层、源电极层和漏电极层。其中,沟道层为锌锡氮薄膜;锌锡氮薄膜的化学式为:Zn<Sub>x</Sub>Sn<Sub>y</S...
梁凌燕
谢玉芳
曹鸿涛
吴卫华
张胜男
王妹
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薄膜晶体管及其制备方法和显示装置
本发明公开了一种薄膜晶体管及其制备方法和显示装置,其中薄膜晶体管包括衬底、栅电极层、栅介质层、沟道层、源电极层和漏电极层。其中,沟道层为锌锡氮薄膜;锌锡氮薄膜的化学式为:Zn<Sub>x</Sub>Sn<Sub>y</S...
梁凌燕
谢玉芳
曹鸿涛
吴卫华
张胜男
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薄膜晶体管及制备方法和交互式显示装置
本发明公开了一种薄膜晶体管及制备方法和交互式显示装置,其中,薄膜晶体管包括衬底、栅电极层、栅介质层、沟道层、源电极层和漏电极层;其中,沟道层为锌锡氮氧薄膜;锌锡氮氧薄膜的化学式为:Zn<Sub>a</Sub>Sn<Sub...
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谢玉芳
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