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黄睿
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
艾博
中国电子科技集团公司第四十五研...
胡晓霞
中国电子科技集团公司第四十五研...
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电子工业专用...
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1篇
2016
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全自动探针台硅片传输系统的预对准算法研究
被引量:2
2016年
提出了一种硅片传输系统的预对准算法,根据线阵CCD采集的边缘电压数据并结合机械手的固有特性,计算出圆心坐标和切边位置,实现硅片的预对准。经过实验验证,该算法有效提高了预对准的可靠性和稳定性。
胡晓霞
黄睿
艾博
关键词:
传输系统
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