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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电迁移
  • 1篇互连
  • 1篇互连线

机构

  • 1篇北京工业大学

作者

  • 1篇朱春节
  • 1篇李志国
  • 1篇李秀宇
  • 1篇郭春生
  • 1篇吴月花
  • 1篇刘朋飞

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2007
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
多层金属化系统中的蓄水池效应被引量:1
2007年
对于W通孔多层金属化系统来说,金属离子蓄水池效应对其电迁移寿命的影响很大。设计了12种不同的蓄水池结构,并进行电迁移实验;考察了蓄水池面积、通孔位置、数目及大小等对互连线的电迁移寿命的影响,得出蓄水池的面积是影响电迁移寿命的主要因素。
李秀宇吴月花李志国郭春生刘朋飞朱春节
关键词:互连线电迁移
共1页<1>
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