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安子风

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室更多>>
发文基金：河南省科技攻关计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化钛
  • 1篇温度
  • 1篇溅射
  • 1篇光学
  • 1篇光学性
  • 1篇光学性能
  • 1篇薄膜光学
  • 1篇TIN薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇郑州大学

作者

  • 1篇史新伟
  • 1篇王新昌
  • 1篇姚宁
  • 1篇崔立斌
  • 1篇安子风
  • 1篇宋开兰

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
温度对磁控溅射氮化钛薄膜光学性能的影响被引量：4
2013年
本文采用能量过滤磁控溅射技术(Energy Filter Direct Magnetron Sputtering,EFDMS),通过改变沉积温度在玻璃衬底上制备了一系列TiN薄膜。利用XRD进行了物相鉴定,使用分光光度计、椭圆偏振光谱仪和四探针电阻仪测试了TiN薄膜的光学性能。结果表明:制备的TiN薄膜为多晶态立方结构TiN,且随着衬底温度的升高,薄膜结晶性提高,在近红外区的反射率显著上升,可见光区的透光率有所下降,同时,薄膜的禁带宽度变宽,折射率减小,消光系数升高。
史新伟宋开兰崔立斌安子风姚宁王新昌
关键词：TIN薄膜光学性能
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