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曹力

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:吉林大学机械科学与工程学院更多>>
发文基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇信号
  • 1篇微小型
  • 1篇力学信号
  • 1篇加载
  • 1篇加载装置

机构

  • 1篇吉林大学

作者

  • 1篇王义强
  • 1篇周晓勤
  • 1篇嵇佳斌
  • 1篇赵宏伟
  • 1篇曹力
  • 1篇彭振兴

传媒

  • 1篇吉林大学学报...

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
测试原位纳米压痕的微小型加载装置
2010年
提出一种用于原位纳米压痕测试的微小型精密加载装置。结合纳米压痕测试的基本要求,对精密加载装置进行了结构设计分析,建立了以压电叠堆推动柔性铰链推进单晶金刚石工具头实现压痕测试的方案,依据胡克定律利用柔性铰链敏感单元实现对压入力信号的检测。对压入柔性铰链单元进行了力学分析和模态研究,在此基础上,对研制测试平台样机的压入特性、载荷力检测等进行了试验测试,并利用研制的样机对单晶硅晶片进行了压痕试验。加载装置在100V驱动电压下压头有效行程可达11.96μm,基本满足压痕测试的功能要求。
嵇佳斌王义强赵宏伟周晓勤曹力彭振兴
关键词:力学信号
共1页<1>
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