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陈子毅

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中山大学物理科学与工程技术学院光电材料与技术国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇三维模拟
  • 1篇相对密度
  • 1篇面粗糙度
  • 1篇基底
  • 1篇SI
  • 1篇SI(100...
  • 1篇表面粗糙度
  • 1篇粗糙度

机构

  • 1篇中山大学

作者

  • 1篇梁景舒
  • 1篇江绍基
  • 1篇陈子毅

传媒

  • 1篇材料科学与工...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Si(100)预结构基底对Si雕塑薄膜三维模拟生长的影响被引量：1
2011年
建立一个雕塑薄膜三维生长的蒙特卡罗模型,模拟在PVD方法下Si在Si(100)基底上沉积的生长,考虑周期性排列预结构基底的阴影效应,模拟不同预结构单元宽度、间距及不同入射角度下斜柱状雕塑薄膜的三维形貌。结果表明,在入射角和宽度一定时,存在一个最佳间宽比值使得薄膜表面粗糙度最小;当宽度大于一定数值,粗糙度随间宽比值增大而增大。在相同预结构基底下,随入射角增大,薄膜的表面粗糙度增大;而薄膜的相对密度曲线变得平缓均匀。
梁景舒陈子毅余梦影江绍基
关键词：表面粗糙度相对密度
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共1页<1>
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