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姚徳启

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇倒模
  • 1篇微流体
  • 1篇芯片
  • 1篇芯片结构
  • 1篇聚二甲基
  • 1篇聚二甲基硅氧...
  • 1篇甲基
  • 1篇溅射
  • 1篇二甲基
  • 1篇二甲基硅氧烷
  • 1篇PDMS

机构

  • 1篇中北大学

作者

  • 1篇张斌珍
  • 1篇杨潞霞
  • 1篇郝晓剑
  • 1篇王春水
  • 1篇范新磊
  • 1篇姚徳启

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于微流体芯片结构的PDMS二次倒模工艺研究被引量：2
2012年
研究了用于制作微流体芯片结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)与PDMS之间的倒模方法。首先,通过使用同一个微流体芯片模具倒出多个相同的PDMS负模结构;接着分别在各负模结构上溅射不同种类、不同厚度的金属,然后再对溅射过金属的负模上浇铸PDMS并固化以进行二次倒模,最后对二次倒模出的PDMS微流体结构表面粘连、结构完整性、尺寸等进行观测,从而通过比较得到倒模溅射所需的最佳金属和溅射金属薄膜的最优厚度。此方法倒出的PDMS微流体结构完整性好,不仅提出了一种全新的用于PDMS倒模的方法,而且解决了PDMS与PDMS之间直接倒模时所遇到的相互粘连和结构撕裂等难题。
郝晓剑张斌珍杨潞霞范新磊姚徳启王春水
关键词：微流体聚二甲基硅氧烷溅射倒模
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