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尹冬冬

作品数:3 被引量:4H指数:1
供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:理学电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 3篇探测器
  • 3篇键合
  • 3篇光电
  • 3篇光电探测
  • 3篇光电探测器
  • 3篇波导
  • 2篇雪崩
  • 2篇雪崩光电探测...
  • 2篇增层
  • 2篇键合工艺
  • 2篇硅基
  • 1篇键合技术
  • 1篇SOI
  • 1篇INGAAS...
  • 1篇SILICO...

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇韩勤
  • 3篇杨晓红
  • 3篇吕倩倩
  • 3篇尹冬冬
  • 2篇何婷婷
  • 1篇尹伟红
  • 1篇崔荣
  • 1篇李彬

传媒

  • 1篇激光与光电子...

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2014
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
SOI波导与InGaAs/InP光电探测器的集成被引量:4
2014年
成熟的CMOS技术可制备无源光学器件,但高效光源和高性能光探测仍需要III^V族半导体材料。综述了近期III^V族外延片与SOI(silicon-on-insulator)波导集成的键合技术,按键合材料的不同分为无机和有机材料键合。着重分析了各种InGaAs/InP光电探测器与SOI波导集成的光耦合方案,并对其优缺点进行对比。同时给出设计的一种倏逝波耦合的InGaAs/InP光电探测器,用时域有限差分(FDTD)法对器件光学特性进行了模拟,以SOI上有机键合的方式,获得95%的探测器吸收效率,表明该SOI波导集成的光电探测器可实现小体积、低损耗及高响应度的光探测,符合片上光互连系统的要求。
崔荣杨晓红吕倩倩尹冬冬尹伟红李彬韩勤
关键词:探测器键合技术
一种硅基混合集成雪崩光电探测器
本发明公开了一种硅基混合集成雪崩光电探测器(APD),包括自下而上叠置的SOI(silicon‑on‑insulator)倒锥耦合结构、键合层、波导和光学匹配层,以及雪崩光电探测结构。波导和光学匹配层包括波导区和光学匹配...
尹冬冬杨晓红韩勤何婷婷吕倩倩
文献传递
一种硅基混合集成雪崩光电探测器
本发明公开了一种硅基混合集成雪崩光电探测器(APD),包括自下而上叠置的SOI(silicon?on?insulator)倒锥耦合结构、键合层、波导和光学匹配层,以及雪崩光电探测结构。波导和光学匹配层包括波导区和光学匹配...
尹冬冬杨晓红韩勤何婷婷吕倩倩
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