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张力元

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：辽宁科技大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇等离子体增强
  • 2篇铝合金
  • 2篇铝合金表面
  • 2篇金属靶
  • 2篇溅射
  • 2篇溅射法
  • 2篇合金
  • 2篇合金表面
  • 2篇改性
  • 2篇改性工艺
  • 2篇CRN薄膜
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 2篇磁控溅射法

机构

  • 2篇辽宁科技大学

作者

  • 2篇周艳文
  • 2篇王亚男
  • 2篇陈东旭
  • 2篇张力元
  • 2篇陈琦

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2016
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种利用磁控溅射法在铝合金表面制备TiN或CrN薄膜的方法
一种利用磁控溅射法在铝合金表面制备TiN或CrN薄膜的方法。本发明涉及利用等离子体增强平衡磁控溅射装置，使用Ti、Cr金属靶，在铝合金表面分别制备含Ti和Cr原子过渡层的TiN和CrN薄膜。此方法不仅保证了铝合金基体的自...
王亚男陈东旭陈琦周艳文张力元
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一种利用磁控溅射法在铝合金表面制备TiN或CrN薄膜的方法
一种利用磁控溅射法在铝合金表面制备TiN或CrN薄膜的方法。本发明涉及利用等离子体增强平衡磁控溅射装置，使用Ti、Cr金属靶，在铝合金表面分别制备含Ti和Cr原子过渡层的TiN和CrN薄膜。此方法不仅保证了铝合金基体的自...
王亚男陈东旭陈琦周艳文张力元
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