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高华
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
供职机构:
北京交通大学
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相关领域:
理学
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合作作者
何桢
北京交通大学
胡峰
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王申伟
北京交通大学
衣立新
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高华
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2009
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溅射气氛和退火方式对硅纳米晶的形成及发光特性的影响
被引量:5
2009年
利用磁控溅射技术溅射硅靶,通过调节溅射气氛在硅衬底上生长了S iO/S iO2超晶格,热退火处理后超晶格中的S iO发生相分离得到硅纳米晶。通过比较不同退火方式对于硅纳米晶的形成的影响发现,管式炉退火处理的样品给出非常强的室温光致发光,其发光峰的峰位随着硅纳米晶尺寸的增大而红移,且管式炉退火比快速热退火更有利于硅纳米晶的形成。
胡峰
衣立新
王申伟
高华
何桢
关键词:
硅纳米晶
超晶格
磁控溅射
热退火
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