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何亮
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
武汉大学物理科学与技术学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
肖虎
武汉大学物理科学与技术学院
孟宪权
武汉大学物理科学与技术学院
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武汉大学学报...
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1篇
2008
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离子注入法制备Si基量子点
被引量:3
2008年
利用离子注入法在Si(001)衬底上先后注入了In+和As-,注入能量分别为210,150keV,注入剂量分别为6.2×1016,8.6×1016cm-2,然后对样品经过退火处理制备出了量子点材料(为了避免沟道效应,注入角度选择为7°).用透射电子显微镜(TEM)和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)观察了退火后量子点截面像,发现量子点的平均尺寸大小随退火温度和时间增加而增大.
孟宪权
何亮
肖虎
关键词:
量子点
离子注入
透射电子显微镜
退火
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