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廖清远

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中南大学信息科学与工程学院更多>>
发文基金：湖南省科技厅资助项目国家自然科学基金国家科技型中小企业技术创新基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇速度传感器
  • 1篇微机电系统
  • 1篇无线
  • 1篇无线传输
  • 1篇系统设计
  • 1篇晶圆
  • 1篇机电系统
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度传感器
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS传感...
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇中南大学

作者

  • 1篇叶柏龙
  • 1篇廖清远

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于无线MEMS传感器的晶圆传输振动监测系统设计被引量：1
2015年
如何对半导体工厂运行中的晶圆传输设备进行监测也成为半导体厂商面临的主要问题之一。针对现有晶圆传输的振动监测问题,结合MEMS传感器和无线传输特点,提出了基于无线MEMS加速度传感器的晶圆传输过程的振动监测系统。系统以MEMS电容式加速度传感器为测试载体采集振动数据,通过蓝牙无线传感器网络将采集到的数据传输到主服务器,在监控PC上实时显示和处理,从而获得晶圆传输过程的振动信息。最后通过仿真验证可得,采用MEMS传感器可以满足轻负载的晶圆传输过程的测试需求,而且采用蓝牙无线传输方式也可以避免监测系统中的布线复杂,成本高等不足。系统实现了半导体工厂中的晶圆传输全过程的在线实时监测,可以及早发现生产线中设备的故障。
廖清远叶柏龙
关键词：微机电系统加速度传感器无线传输晶圆
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