王冬蕊
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：南京电子器件研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
- 低应力掺钪氮化铝薄膜制备技术研究
- 2021年
- 分析了双层膜薄膜失效模型,提出了制备低应力掺钪氮化铝薄膜在薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器工艺中的必要性。利用反应溅射法制备掺钪氮化铝薄膜,并使用应力测试仪表征薄膜的力学性能,研究薄膜厚度、工艺时溅射功率、偏置功率以及工艺气压等参数对薄膜应力的影响,通过优化工艺参数制备了接近零应力的掺钪氮化铝薄膜。
- 王雷王冬蕊沈雁飞姜理利郁元卫黄旼
- 关键词：低应力
- 基于MEMS加速度计的单轴数字倾角传感器被引量：1
- 2013年
- 在分析MEMS加速度传感器测量倾角的原理和方法的基础上,设计了基于MEMS双轴加速度传感器的数字化全量程单轴倾角传感器,并介绍了其软硬件实现。通过分析加速度传感器的安装误差及X轴和Y轴的灵敏度差异,给出了加速度传感器的参数校正算法,并确定合适的测量频率与带宽,经测试,所设计的数字化单轴倾角传感器测量范围±180°,精度0.1°。
- 刘梅王冬蕊
- 关键词：微机电系统加速度传感器
- MEMS层叠器件悬空结构划切方法研究被引量：2
- 2019年
- 针对MEMS层叠器件悬空结构划切的各种缺陷,提出了分段进给式切割方法,通过多次切割同一个划切槽,切割深度依次增加,直到切割深度大于悬梁厚度,有效减小悬空结构底部崩边和裂纹。为解决划片槽覆盖有划切标记和介质钝化层的划片正面崩边问题,进一步提出了预开槽分段进给式切割方案,用宽刀开槽,再用窄刀分段进给式切割,解决了悬空结构正面崩边和侧边裂纹等划切缺陷,使得崩边尺寸减小至10μm以内,大大提高成品率。
- 钱可强吴杰王冬蕊姜理利黄旼
- 关键词：微机电系统划片
