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计玮

作品数：4 被引量：9H指数：2
供职机构：西安工业大学更多>>
发文基金：西安工业大学校长基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇直线度
  • 2篇平行度
  • 1篇多光束干涉
  • 1篇炮管
  • 1篇平行度测量
  • 1篇平行光
  • 1篇最小二乘
  • 1篇最小二乘法
  • 1篇限位开关
  • 1篇可调
  • 1篇可调节
  • 1篇画圆
  • 1篇管束
  • 1篇光刻
  • 1篇光阑
  • 1篇光强
  • 1篇光束
  • 1篇光学
  • 1篇光学系统
  • 1篇发射器

机构

  • 4篇西安工业大学

作者

  • 4篇计玮
  • 3篇张锦
  • 3篇蒋世磊
  • 3篇孙国斌
  • 2篇王震
  • 2篇张强
  • 1篇杭凌侠
  • 1篇弥谦
  • 1篇马丽娜
  • 1篇杨国锋
  • 1篇张梦妮

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 3篇2017
  • 1篇2015
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种细长管直线度测量装置
本实用新型涉及一种细长管直线度测量装置，包括被测管，所述的被测管设置于水平支撑架上，被测管内设置有可在被测管内滑动的光轴滑块，光轴滑块的一端嵌设共轴光束发射器，在共轴光束发射器出射光所在的被测管端口外临设光电准直仪，光电...
蒋世磊计玮张锦孙国斌王震张强张梦妮
文献传递
一种电动调节光阑
本实用新型公开了一种电动调节光阑，包括电动光阑外壳、可调节光阑、连接杆、法兰盘、电机，所述电机设置在电动光阑外壳的一侧并且通过输出轴与设置在电动光阑外壳另一侧的法兰盘连接，所述连接杆的一端连接法兰盘上面的支柱，另外一端连...
孙国斌张强蒋世磊张锦计玮王震
文献传递
长管束直线度与平行度测量方法研究
在几何测量领域里，提升高精度空间的直线度测量的准确度，同时降低测量误差，具有重要的工程应用价值。在国内机械加工企业内，提升长管的直线度测量精度，不仅可以提高装备发射精度，也直接关系到装备的命中精度。基于此，在本课题研究之...
计玮
关键词：直线度平行度最小二乘法
入射光束角度及强度偏差对多光束干涉光刻结果的影响被引量：7
2015年
建立了多光束干涉光刻干涉场内光强分布的数学模型,仿真计算了双光束、三光束、四光束干涉曝光情况下,入射光束存在角度偏差以及各入射光强不同时的干涉图样,并与理想状态的模拟结果进行对比.结果表明:光束入射角度偏差主要影响干涉图样的形状和周期;入射光的光强不同是降低图形对比度的主要因素.利用402nm波长激光光源进行多光束干涉光刻实验.设定激光器输出功率32mW,每两束光夹角为16°,通过控制曝光、显影工艺,双光束干涉光刻产生周期为1.4μm的光栅、点阵和孔阵结构,三光束干涉光刻产生周期为1.7μm的六边形图形阵列.该模型可为利用干涉光刻技术制备微细周期结构,提高光刻图形质量,提供一定的理论参考.
马丽娜张锦蒋世磊孙国斌杨国锋杭凌侠弥谦计玮
关键词：多光束干涉干涉光刻
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