赵慧利
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：山东大学更多>>
- 发文基金：山东省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺化学工程自动化与计算机技术更多>>
- 基于激光跟踪仪的机床精度检测方法、系统、装置及介质
- 本发明提出了基于激光跟踪仪的机床精度检测方法、系统、装置及介质，属于激光测量技术领域，包括：机床初始位置位于标定点上；机床分别沿X轴、Y轴运动设定段距离，求得机床坐标系下不同位置的激光跟踪仪的坐标；根据激光跟踪仪测量的距...
- 万熠唐莹姬帅梁西昌王继来任立伟何召磊贾会述赵慧利
- 单晶硅各向异性对固结磨料线锯切片质量的影响被引量：2
- 2008年
- 将线锯切割单晶硅的锯口形状近似为半圆槽,并将其理解为由许多平行于锯丝轴向的离散表面组成,建立了固结磨料线锯切割单晶硅模型。通过保持锯丝两边锯切材料去除率的对称性,在单晶硅的(100)、(110)和(111)三个晶面,选择不同的锯丝切入方向,从理论上分析了各向异性对线锯切割硅片质量的影响。分析得出:锯切(100)晶片和(110)晶片时,锯丝切入方向的改变不影响硅片表面质量;锯切(111)晶片时,选择[110]、[110]、[011]、[011]、[101]和[101]晶向进行锯切,可有效提高晶片的全局平面度,降低晶片表面法线偏移量,降低硅片翘曲度,提高硅片表面质量。实验验证了分析的正确性。
- 高玉飞葛培琪赵慧利张磊
- 关键词：线锯单晶硅切片各向异性
