赵翔
- 作品数：16 被引量：12H指数：2
- 供职机构：扬州市职业大学更多>>
- 发文基金：江苏省现代教育技术研究规划课题更多>>
- 相关领域：机械工程金属学及工艺文化科学经济管理更多>>
- 微悬臂梁制作中的牺牲层释放工艺研究
- 2010年
- 探讨了微悬臂梁的制作中的牺牲层释放工艺,针对FPA结构中微悬臂梁的结构层和牺牲层材料的选择和制作方法,从释放机理的角度对磷硅玻璃腐蚀速率等释放关键技术作了研究,给出了相应的加工参数。
- 梁明富赵翔
- 关键词：微悬臂梁牺牲层结构层
- MEMS封装中阳极键合技术的影响因素研究和设计因素分析被引量：5
- 2009年
- 结合MEMS气密性封装的需要,以玻璃与硅晶片阳极键合为例,给出阳极键合的封装工艺,从键合机理的角度研究了玻璃与硅阳极键合的影响因素,并就玻璃与硅阳极键合的设计因素做了分析,得到直径为100mm的Pyrex7740玻璃晶片和硅晶片在键合温度为500℃时,硅晶片的径向应力σrr=134.29MPa;键合后晶片的径向膨胀μ=0.1274mm。
- 赵翔梁明富
- 关键词：MEMS封装阳极键合热膨胀
- 基于结构方程模型的高校科技统计研究
- 2023年
- 近年来,随着高校科技发展成果持续增加,针对高校科技展开统计研究的相关工作也得到了越来越多的关注。考虑到高校科技统计工作的复杂性和覆盖层面的多元性,本文拟引入结构方程模型,从新批项目、综合科技投入、综合科技产出三个层次对高校科技模型做细分评价和结构方程梳理,以期构建起能够应用于实际案例的结构方程模型为高校科技统计研究工作的深入提供一定的定量分析参考。
- 肖淑梅赵翔吴亚平倪瑾罗钢
- 关键词：结构方程模型科技统计高校科研学科建设
- 高校协同中小微企业“智改数转”现状统计与评价分析研究
- 2023年
- 为了探索数字化浪潮下高校协同中小微企业“智改数转”新样本新途径,本文采用科学的建模和评价分析等有效的研究工具,从企业生命周期理论和产业组织理论角度构建统计模型,调研中小微企业“智改数转”需求和全流程现状,结果表明样本企业“智改数转”进程目前还位于较为初级的阶段,缺乏整体战略变革思维,缺乏高性价比、高适配性的“智改数转”工具供给和培训,投入回报周期与回报收益不明晰,并指出迫切需要建设全链条的公共服务支撑体系,规划纵横向金融资源,建立高校协同的人才引培工程,多措并举提升产业成色,推动中小微企业“智改数转”行稳致远。
- 肖淑梅邵红万赵翔吴亚平
- 关键词：统计模型
- 牺牲层腐蚀技术在微悬臂梁器件制作中的应用
- 2009年
- 以微悬臂梁的制造工艺为例,探讨了MEMS中的牺牲层腐蚀技术,对牺牲层材料的制备方法和腐蚀牺牲层材料得到微悬臂梁结构等工艺中的关键与核心技术作了详细阐述,从腐蚀机理的角度探讨了腐蚀速率及其影响因素。
- 赵翔梁明富
- 关键词：MEMS微悬臂梁牺牲层腐蚀腐蚀速率
- 基于MEMS技术硅微悬臂梁制作工艺研究被引量：1
- 2009年
- 针对非制冷红外热成像中的双材料硅微悬臂梁阵列的结构要求,在MEMS常见加工工艺的基础上,提出了单个硅微悬臂梁的制作工艺路线。工艺中使用高浓度HF溶液释放牺牲层磷硅玻璃(PSG)。探讨了双层材料氮化硅和铝之间的断裂及氮化硅和硅基底之间的粘连问题,对工艺中影响成品率的关键因素残余应力进行了分析。
- 梁明富赵翔
- 关键词：MEMS微悬臂梁
- 一种智能型新能源汽车充电桩
- 本发明公开了一种智能型新能源汽车充电桩，属于新能源汽车充电技术领域。一种智能型新能源汽车充电桩，包括降温排气箱，所述降温排气箱安装在站桩内腔的上端位置，所述站桩下端设置有电路箱，所述站桩底部连接底座，且所述站桩顶部安装有...
- 肖淑梅赵翔倪瑾吴亚平马融
- 一种工作台支撑装置
- 本发明公开了一种工作台支撑装置，包括支撑主体，支撑主体的四周均设有支撑箱体，支撑箱体的下侧固定有支撑底板，支撑底板的底部和支撑主体的底部齐平，支撑箱体具有安装腔，支撑箱体的上侧固定有封板，支撑箱体的两个侧端均开有滑动口，...
- 赵翔梁明富郝欣妮
- 微悬臂梁的热机械性能分析及选材被引量：2
- 2007年
- 由微悬臂梁结构组成的红外焦平面阵列(FPA)是基于微机电系统结构的非制冷型红外成像系统的核心技术,通过对双金属悬臂梁应力和应变的分析,阐述了影响微悬臂梁热机械性能的主要因素,为正确选择微悬臂梁结构的材质提供理论依据。
- 梁明富赵翔
- 关键词：微悬臂梁热机械性能
- 基于MEMS技术硅微悬臂梁制作工艺研究被引量：4
- 2008年
- 在MEMS常见加工工艺的基础上,提出了单个硅微悬臂梁的制作工艺路线。探讨了双层材料氮化硅和铝之间的断裂和氮化硅和硅基底之间的粘连问题。
- 赵翔梁明富
- 关键词：MEMS微悬臂梁
