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陈振鹏
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1
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供职机构:
北京科技大学材料科学与工程学院材料物理与化学系
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相关领域:
电气工程
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合作作者
罗庆洪
北京科技大学材料科学与工程学院...
杨会生
北京科技大学材料科学与工程学院...
王燕斌
北京科技大学材料科学与工程学院...
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王燕斌
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杨会生
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陈振鹏
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2007
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中频溅射法制备薄膜电池正极LiCoO_2薄膜结构的研究
2007年
采用大型中频磁控溅射系统制备了全固态薄膜电池用LiCoO_2阴极薄膜材料,研究了退火前后其结构及形貌的变化。结果表明,沉积的LiCoO_2薄膜具有晶态结构;沉积状态薄膜的晶体取向决定着退火后薄膜的晶体择优取向,退火只是使晶粒更加完整,并使择优取向发展得更好;沉积过程的O_2/Ar(氧分压)对薄膜的晶体取向影响很大,适当控制沉积条件,采用工业规模的中频磁控溅射设备可以制备出取向良好的LiCoO_2薄膜阴极材料。
陈振鹏
罗庆洪
杨会生
王燕斌
关键词:
LICOO2
中频磁控溅射
薄膜电池
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