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杜康

作品数：29 被引量：29H指数：3
供职机构：中北大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金山西省自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术理学航空宇航科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇专利
  • 10篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 12篇自动化与计算...
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇理学

主题

  • 17篇压阻
  • 13篇陀螺
  • 10篇微机械陀螺
  • 9篇压阻效应
  • 9篇阻尼
  • 9篇纳米
  • 8篇陀螺仪
  • 7篇压阻式
  • 7篇数量级
  • 7篇阻尼孔
  • 6篇隧穿
  • 6篇纳米膜
  • 6篇加速度
  • 6篇加速度计
  • 5篇微机械陀螺仪
  • 5篇介观压阻效应
  • 5篇硅压阻
  • 5篇硅压阻式
  • 4篇电极
  • 4篇电阻

机构

  • 29篇中北大学
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 29篇杜康
  • 27篇刘俊
  • 22篇李孟委
  • 15篇石云波
  • 14篇王莉
  • 12篇李锡广
  • 6篇白晓晓
  • 5篇王瑞荣
  • 5篇王琪
  • 3篇张斌珍
  • 3篇朱京
  • 2篇杨卫
  • 2篇李平
  • 2篇李杰
  • 2篇郑伦贵
  • 2篇郭涛
  • 1篇刘晓鹏
  • 1篇马宗敏
  • 1篇张文栋
  • 1篇朱政强

传媒

  • 3篇传感技术学报
  • 2篇测试技术学报
  • 2篇中北大学学报...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇爆炸与冲击
  • 1篇兵工学报

年份

  • 2篇2016
  • 4篇2014
  • 4篇2013
  • 5篇2012
  • 10篇2010
  • 3篇2009
  • 1篇2008
共 29 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计
本发明公开了一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计，包括：键合基板、支撑框体、约瑟夫逊器件、弹性梁、质量块和压敏电阻。本发明的有益效果在于将约瑟夫逊器件与硅压阻集成,可将加速度信号转换为补偿严格一致的电流台阶信号，结...
李孟委刘丽双王莉白晓晓杜康刘俊程壑薛梅靳樱子
文献传递
一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计
本实用新型公开了一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计，包括：键合基板、支撑框体、约瑟夫逊器件、弹性梁、质量块和压敏电阻。本实用新型的有益效果在于将约瑟夫逊器件与硅压阻集成,可将加速度信号转换为补偿严格一致的电流台阶...
李孟委王莉朱京杜康白晓晓王琪刘俊
基于介观压阻效应的新型微陀螺仪结构设计与优化被引量：2
2009年
介绍了介观压阻效应,其灵敏度比硅压阻效应高一个数量级.利用该效应作为高灵敏度器件,首次提出了介观压阻效应微陀螺仪结构,并论述了其工作原理.利用AN SY S软件,对其结构性能进行仿真,分析了固有频率、振幅以及哥氏效应下敏感方向的位移等特性,提出了结构优化分析的方法.在哥氏效应等耦合作用下对该结构进行多参数优化设计,并得到优化结果.经过对结果进行比较和考量分析,结果证明:微陀螺仪的驱动频率和检测频率的差值由原来的217.83 H z增大到362.87 H z,微陀螺仪的工作带宽增大,同时质量块在Z方向的位移增大了0.3μm,从而使检测梁根部受到的应力也增大了1.7 M Pa,结构灵敏度提高了18%.
李孟委刘俊刘韶轩杜康石云波
关键词：介观压阻效应微机械陀螺结构优化
具有抗横向干扰的硅纳米带巨压阻效应微加速度计
一种具有抗横向干扰的硅纳米带巨压阻效应微加速度计，主要结构由键合基底、敏感质量块、固定外框、组合梁、硅纳米线电阻、凹槽、阻尼孔组成，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成，硅纳米线电阻由硅纳米带电阻层、硅纳米带电阻正极、...
李孟委刘俊杜康王莉李锡广
静电驱动压阻检测微机械陀螺仪的研究
对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍. 与硅压阻器件相比，本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作为检测方式，实现了较高的压阻灵敏度;采用硅基异质外延砷化镓薄膜工艺进行陀螺结构以及多势垒纳米膜...
王瑞荣杜康石云波刘俊
关键词：静电驱动压阻检测微机械陀螺
纳米膜隧穿效应微陀螺的结构设计与加工
2013年
基于GaAs材料和器件的制造工艺,介绍了纳米膜隧穿器件和微陀螺的结构设计方法和工艺加工方法。阐述了基于纳米膜隧穿效应微陀螺的工作原理,对纳米膜隧穿器件和微陀螺的结构进行了设计,分析了微陀螺的模态频率设计和匹配仿真。采用反应离子刻蚀(RIE)刻蚀和感应耦合等离子体(ICP)刻蚀方法分别对隧穿器件和微陀螺结构进行了加工,利用扫描电镜观测,加工结果较好。利用冲击信号测试了微陀螺的频率响应,讨论了微陀螺的模态频率测试结果和匹配情况,证明微陀螺在驱动方向和检测方向上能够工作且模态频率匹配程度较好。实验结果表明,提出的GaAs材料微陀螺结构设计方法和工艺加工方法是可行的,能够应用于GaAs基微陀螺结构设计与制造。
李锡广李孟委杜康郑伦贵刘俊
关键词：隧穿效应微机械陀螺砷化镓
具有抗横向干扰的硅纳米带巨压阻效应微加速度计
一种具有抗横向干扰的硅纳米带巨压阻效应微加速度计，主要结构由键合基底、敏感质量块、固定外框、组合梁、硅纳米线电阻、凹槽、阻尼孔组成，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成，硅纳米线电阻由硅纳米带电阻层、硅纳米带电阻正极、...
李孟委王莉杜康刘俊李锡广
文献传递
共振隧穿微陀螺仪哥氏效应仿真及理论验证
2010年
介绍了微机械陀螺和共振隧穿效应器件的工作原理,提出了基于共振隧穿效应的微机械陀螺仪结构.利用ANSYS软件仿真分析了输入角速度、角加速度及驱动速度对哥氏效应的影响.对微陀螺仪的检测结构进行了理论建模,详细分析了输入角速度、哥氏力、检测梁正应力三者间的关系,并推导出检测梁正应力的理论计算关系式.经数据分析验证了计算结果与仿真结果是一致的,说明基于ANSYS软件的仿真分析方法是可行的,能够用于共振隧穿微陀螺仪的结构设计中.
李孟委汪圣稀杜康刘俊石云波
关键词：ANSYS仿真
高g值加速度计的设计与冲击特性分析被引量：15
2010年
针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高过载梁岛结构加速度计;利用Hopkinson杆冲击校准装置对该加速度计的动态特性进行了测试。测试结果表明,传感器的灵敏度为1.2μV/g,线性度5%左右;结构受到2×105g冲击后完好且输出信号正常,能有效满足高冲击、强烈振动场合的特殊测试要求,可以应用于侵彻系统。
石云波朱政强刘晓鹏杜康刘俊
关键词：HOPKINSON杆
基于石墨烯的MEMS声学传感器
一种基于石墨烯的MEMS声学传感器，主要结构由由上层结构、下层结构及石墨烯组成，上层结构上制作有集音腔、间隙腔、通孔板、拾音孔、上层金属层、上层绝缘层、上层金属连接位、上层键合金属层，下层结构层上制作有通孔板、间隙腔、阻...
李孟委王莉杜康刘俊李锡广白晓晓王增跃王琪
文献传递
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