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苏源哲
作品数:
12
被引量:1
H指数:1
供职机构:
厦门大学
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发文基金:
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相关领域:
自动化与计算机技术
一般工业技术
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合作作者
王凌云
厦门大学物理与机电工程学院机电...
孙道恒
厦门大学物理与机电工程学院机电...
杜晓辉
厦门大学
占瞻
厦门大学
吕文龙
厦门大学
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厦门大学
作者
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苏源哲
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孙道恒
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王凌云
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杜晓辉
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1篇
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2013
6篇
2012
2篇
2011
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一种微器件的真空封装方法
一种微器件的真空封装方法,涉及一种微器件的封装方法。采用微加工工艺在下硅片上加工硅岛、可动结构及附属金属电极和引线;采用湿法腐蚀法在上硅片正面加工出梯形通孔,在上硅片背面加工出微流道;采用硅-玻璃阳极键合技术将上硅片与玻...
王凌云
吕文龙
杜晓辉
苏源哲
占瞻
左文佳
孙道恒
文献传递
电纺直写PVDF纳米纤维的压电特性及其在微压力传感器中的应用研究
聚偏氟乙烯(Polyvinylidenefluoride,PVDF)是目前已知的压电性能最强的聚合物材料,在能源、生物、传感器等领域有着广泛的应用。PVDF有α、β、γ、δ和ε五种晶相,其中以β相的压电性能最好,而拉伸极...
苏源哲
关键词:
纳米纤维
压电效应
压力传感器
一种带温度补偿式微真空传感器
一种带温度补偿式微真空传感器,涉及一种微真空传感器。设有衬底、硅尖阵列发射阴极、金属阳极、阴极引出电极、阳极引出电极、2个发射腔体,金属阳极和阳极引出电极溅射在衬底的表面上,阴极引出电极溅射在硅片上,硅尖阵列发射阴极刻蚀...
王凌云
邱永荣
程伟
苏源哲
孙道恒
文献传递
一种电烙铁智能调温断电保护装置
一种电烙铁智能调温断电保护装置,涉及一种电烙铁。设有控制模块、传感器、显示模块、蜂鸣器、开关按钮和功率及温度控制模块;所述传感器的输出端接控制模块的输入端,开关按钮与控制模块连接,控制模块的输出端分别与显示模块的输入端、...
王凌云
杜晓辉
左文佳
占瞻
苏源哲
吕文龙
孙道恒
文献传递
基于静电键合的玻璃/硅/玻璃三层结构材料的制备方法
基于静电键合的玻璃/硅/玻璃三层结构材料的制备方法,涉及一种用于制作微纳器件的三层结构材料。采用阳极键合将硅片与第1玻璃片键合得硅/第1玻璃组合片;采用磁控溅射法在硅/第1玻璃组合片的双面溅射金属得覆盖硅/第1玻璃组合片...
吕文龙
占瞻
左文佳
杜晓辉
苏源哲
王凌云
孙道恒
文献传递
基于静电键合的玻璃/硅/玻璃三层结构材料的制备方法
基于静电键合的玻璃/硅/玻璃三层结构材料的制备方法,涉及一种用于制作微纳器件的三层结构材料。采用阳极键合将硅片与第1玻璃片键合得硅/第1玻璃组合片;采用磁控溅射法在硅/第1玻璃组合片的双面溅射金属得覆盖硅/第1玻璃组合片...
吕文龙
占瞻
左文佳
杜晓辉
苏源哲
王凌云
孙道恒
内置伸缩针尖的喷头喷印规律实验研究
2011年
设计了一种新型的基于电液动力学的喷头,该喷头内含一个可伸缩的针尖。由这种喷头组成的喷印系统,在不同的条件下可以产生离散的点和珠状结构两种喷射模式。结果表明:溶液浓度是区分这两种喷射模式的关键因素。当喷射溶液的浓度比较低时,喷印系统喷射出离散的圆点;当较高时,喷射出珠状结构。其珠状结构中珠子的直径随着系统供液速率的增加而变大,随着PEO溶液浓度的提高和针尖频率的增加而减小。改变收集板的移动速度,可以改变喷射沉积物形态,且该系统的喷射频率与可伸缩针尖的运动频率之间有很好的线性相关性。
邱永荣
裴艳博
林桂丹
苏源哲
王凌云
孙道恒
关键词:
喷印
一种基于智能调温断电保护的电烙铁座
一种基于智能调温断电保护的电烙铁座,涉及一种电烙铁座。设有座体、电烙铁架、压力传递机构、显示模块、传感器、蜂鸣器、控制模块、电源控制模块、开关及按钮、电烙铁电源插口座和锡盘;所述电烙铁架、显示模块、蜂鸣器、开关及按钮、电...
王凌云
杜晓辉
占瞻
左文佳
苏源哲
吕文龙
孙道恒
文献传递
一种微器件的真空封装方法
一种微器件的真空封装方法,涉及一种微器件的封装方法。采用微加工工艺在下硅片上加工硅岛、可动结构及附属金属电极和引线;采用湿法腐蚀法在上硅片正面加工出梯形通孔,在上硅片背面加工出微流道;采用硅-玻璃阳极键合技术将上硅片与玻...
王凌云
吕文龙
杜晓辉
苏源哲
占瞻
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一种基于带有耦合梁差动结构的硅微谐振式压力传感器
一种基于带有耦合梁差动结构的硅微谐振式压力传感器,涉及一种传感器。设谐振子、矩形硅岛、矩形压力敏感膜片、硅边框和下层玻璃;谐振子设有支撑梁、耦合梁、可动梳齿激励电极、可动梳齿检测电极、固定梳齿激励电极、固定梳齿检测电极和...
王凌云
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苏源哲
吕文龙
江毅文
孙道恒
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