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陈宏

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：南通大学机械工程学院更多>>
发文基金：江苏省高校自然科学研究项目更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 3篇晶粒
  • 3篇硅薄膜
  • 3篇非晶硅
  • 3篇非晶硅薄膜
  • 2篇单晶
  • 2篇单晶体
  • 2篇晶粒尺寸
  • 2篇晶体
  • 2篇光斑
  • 2篇光斑尺寸
  • 2篇长波
  • 2篇尺寸
  • 1篇微晶
  • 1篇微晶化
  • 1篇晶化
  • 1篇激光
  • 1篇激光晶化
  • 1篇YAG激光

机构

  • 3篇南通大学

作者

  • 3篇花国然
  • 3篇张华
  • 3篇陈宏
  • 2篇顾江
  • 2篇王强
  • 2篇罗辰
  • 1篇戴丽娟

传媒

  • 1篇应用激光

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种非晶硅薄膜可控同质外延生长的方法
本发明涉及一种应用长波脉冲激光技术进行非晶硅薄膜可控同质外延生长的方法。首先将经化学气相沉积制得的具有单晶体或多晶体衬底的非晶硅薄膜置于具有惰性气体的保护性容器中；然后用波长为1.00～1.10微米的脉冲激光，通过调整光...
花国然王强戴丽娟张华罗辰顾江陈宏
文献传递
一种非晶硅薄膜可控同质外延生长的方法
本发明涉及一种应用长波脉冲激光技术进行非晶硅薄膜可控同质外延生长的方法。首先将经化学气相沉积制得的具有单晶体或多晶体衬底的非晶硅薄膜置于具有惰性气体的保护性容器中；然后用波长为1.00～1.10微米的脉冲激光，通过调整光...
花国然王强张华罗辰顾江陈宏
非晶硅薄膜YAG激光微晶化晶粒生长研究被引量：1
2012年
以单晶硅(111)为衬底,以等离子体增强化学气相沉积技术制备的非晶硅薄膜为前驱物,采用YAG激光晶化技术实现从非晶硅薄膜到纳米晶硅薄膜的相变过程。采用X射线衍射仪和原子力显微镜对YAG激光晶化薄膜进行了表征与分析。结果表明:薄膜的晶粒尺寸在纳米级;随着激光脉冲频率的增加,晶粒尺寸先变大后变小,其最佳结晶频率区间为10～12 Hz。
张华花国然陈宏
关键词：激光晶化非晶硅晶粒
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