陈柳华
- 作品数:7 被引量:22H指数:3
- 供职机构:浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 一种基于光栅干涉的加速度计的设计与制作
- 在现代社会中,加速度计的设计与生产快速增长,逐渐成为MEMS市场发展的主要动力。性能稳定的加速度计被广泛用于汽车、飞行器以及军事制导等各方面。但是传统方法设计的加速度计已经无法满足高分辨率、大动态范围、高集成度且低成本的...
- 陈柳华
- 关键词:加速度计MEMSMOEMS加速度传感器
- 文献传递
- 基于光栅平移的大量程光学加速度计被引量:3
- 2010年
- 提出一种新颖的基于光栅±1级干涉和相位载波(PGC)调制解调的光学加速度传感方案,并进行了样机制作和测试,其分辨率达到4×10-5gn量级以上,动态范围在光学结构中不受限制,仅与惯性传感中机械结构线性范围有关。与其他类型微加速度计相比,该光学加速度传感器不但在分辨率和动态范围上均获得较大的提高,而且利用光栅干涉进行加速度传感能很好地保证干涉的稳定性,从而提高工作稳定性,降低对安装精度的要求。该方案还可以应用到微电子机械系统(MEMS)技术中,为设计高分辨率大量程微光机电系统(MOEMS)型加速度计,提供了新的思路。
- 陈柳华林巧李书倪玮吴兴坤
- 关键词:传感器加速度计加速度传感器
- 高分辨率光纤加速度计被引量:2
- 2009年
- 设计、研制了一种新型小体积,低成本,易于批量生产的高分辨率光纤加速度计。该加速度探头为全光纤结构,采用相位生成载波(PGC)技术对光纤干涉信号进行调制和解调,获得高精度相位信号。对样机测试结果表明,该高分辨率光纤加速度计在0~100 g的大动态范围内可分辨3×10^(-4) g,最高分辨率可达10^(-6)。其结构采用了一种新颖的由加速度产生位移干涉信号的圆网状弹性结构和硅微镜装置,用Cosmosworks工程软件对该弹性结构进行了应变分析并与实验测试进行对比。整体设计结果与实验测量符合较好。
- 林巧李书潘建彬吴兴坤陈柳华倪玮
- 关键词:光纤光学光纤加速度计相位调制
- 一种基于PGC解调干涉扫描的微位移传感器
- 本发明公开了一种基于PGC解调干涉扫描的微位移传感器。它由光栅干涉,干涉光程差调制和信号处理三个部分组成。其中光栅干涉部分由光源、正弦振幅光栅条、分光棱镜和反射镜组成,该部分基于光栅干涉原理,由干涉条纹感知光栅条位移信息...
- 陈柳华吴兴坤
- 文献传递
- 基于迈克尔逊干涉的光纤弯曲传感器被引量:11
- 2011年
- 设计并研制了一种新型的基于迈克尔逊干涉的光纤弯曲传感器.该光纤弯曲传感器由两根光纤组成的光纤带固定于弹性弯曲结构上来产生迈克尔逊干涉信号,用光纤折射率匹配液填充微型腔,并施加音频振荡信号对相位干涉信号实现低频调制.采用相位生成载波技术对相位干涉信号进行调制和解调,实现了对曲率变化高精确度的检测.实验测试了该光纤弯曲传感器的相位干涉信号与光纤带弯曲曲率的关系,并与理论分析对比.结果表明该光纤弯曲传感器具有43.96 rad/m-1的灵敏度及0.004 m-1的高分辨率.
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- 一种基于PGC解调干涉扫描的微位移传感器
- 本发明公开了一种基于PGC解调干涉扫描的微位移传感器。它由光栅干涉,干涉光程差调制和信号处理三个部分组成。其中光栅干涉部分由光源、正弦振幅光栅条、分光棱镜和反射镜组成,该部分基于光栅干涉原理,由干涉条纹感知光栅条位移信息...
- 陈柳华吴兴坤
- 文献传递
- 基于光纤-镜面干涉腔的光纤加速度计被引量:6
- 2011年
- 设计、研制了一种基于光纤-镜面干涉腔的光纤加速度计。介绍了该加速度计的传感原理及弹性结构设计,并对其性能进行了实验测试。该加速度计用固定于圆网状弹性结构上的硅微反射镜与处理过的光纤端面构成光纤-镜面干涉腔来产生相位差随外界加速度改变的光干涉信号;采用相位生成载波技术通过对干涉信号的调制和解调实现对相位差的精确测定。应用工程软件Cosmosworks(Solidworks)对该加速度计弹性结构的灵敏度进行了理论分析,并与样机测试比较。结果表明,该光纤加速度计的灵敏度为63.2rad/g,共振频率为160Hz,分辨率为4μg而动态范围接近108,结果与理论分析符合得较好。该加速度计不仅结构简单,还集成了多维加速度计的优势。
- 林巧陈柳华李书吴兴坤
- 关键词:光纤加速度计灵敏度分辨率