王治安
- 作品数：9 被引量：4H指数：2
- 供职机构：中国核工业集团公司核工业西南物理研究院更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学更多>>
- 大面积PET基中频反应磁控溅射沉积TiN隔热薄膜实验研究被引量：2
- 2011年
- 本文讨论在柔性基材PET上沉积氮化钛(TiN)阳光控制膜——作为隔热薄膜。"隔热"是指对红外光区的有效阻隔。氮化钛(TiN)薄膜具有光谱选择透过性,因此可以作为阳光控制薄膜使用。实验采用中频孪生靶磁控溅射实验装置,在等离子体辐射监视系统(PEM)的控制下,在大面积PET柔性基材上沉积TiN隔热薄膜。实验主要研究了制备不同透光率的PET基TiN隔热膜并观察薄膜表面状况;对沉积的TiN薄膜用分光光度仪进行光谱透过率分析并计算各种透过率薄膜的光学性能参数,比较不同透过率的隔热效果;为了对该隔热薄膜的化学稳定性进行分析,还做了耐酸碱性测试。通过本实验为以后的大规模工业产业化发展奠定良好的基础。
- 翟玉涛戴彬王军生韩大凯王治安
- 关键词：阳光控制反应溅射
- PEM控制中频反应磁控溅射制备TiO_2薄膜的研究被引量：2
- 2011年
- 采用中频反应磁控溅射孪生靶在玻璃基体上沉积TiO2薄膜。沉积过程中采用多路送气和等离子体发射光谱监测控制系统，使整个反应溅射过程维持在“过渡区”，从而快速稳定获得均匀高质量的TiO2薄膜，沉积速度在50nm／min以上。随着SP值的增加，沉积速率的增加呈线性关系。通过比较不同SP值制备的TiO2薄膜的光谱图发现，快速稳定地沉积TiO2薄膜的SP值大致在2．5～3．8范围内。
- 王治安王军生童洪辉
- 关键词：TIO2过渡区PEM
- 隔热膜
- 本实用新型属于隔热膜技术领域，具体涉及一种隔热性能好，且内可见光反射率低、外可见光反射率适中的准单向透视隔热膜。单基材结构隔热膜依次包括硬化层、第一基材层、化合物镀层、金属镀层、压敏胶层和防粘层；双基材结构隔热膜依次包括...
- 王军生王治安童洪辉
- 文献传递
- 柔性基体上沉积大面积高均匀透明导电膜及其制备方法
- 本发明属于复合导电膜技术，具体涉及一种柔性基体上沉积大面积高均匀透明导电膜及其制备方法。该方法将PET柔性基体的一面贴在冷鼓上，采用中频反应磁控溅射孪生靶技术在PET柔性基体的另一面依次连续沉积氧化铟锡、银、钛、氧化铟锡...
- 王治安戴彬陈庆川王珂徐丽云
- 文献传递
- 一种耐用型隔热膜结构及镀层
- 本实用新型公开了一种耐用型隔热膜结构及镀层，单基层时基材层（1）内侧为硬化层（3），外侧从内到外依次为金属合金NiCr镀层（2）、压敏胶层（4）、防粘层（5）；双基层时第一基材层（6）内侧为硬化层（3），第二基材层（7）...
- 刘维刘晓波王治安霍蕾赵凌鹏陈路瑶
- 文献传递
- PEM控制中频孪生反应磁控溅射沉积TiO_2薄膜的研究
- 2012年
- 在中频孪生靶反应磁控溅射实验装置上,用PEM控制沉积TiO2薄膜,实验了靶基距、电流与沉积速率的关系。实验得出,靶基距为112 mm时沉积速率最大,沉积速率与电流基本成线性比例关系。在溅射电流30 A,靶基距112 mm,设置点2.5时,测量了基片随时间的温升变化。然后以自然温升的单晶硅为基片,实验研究了设置点对TiO2薄膜晶体结构、折射率的影响。实验结果表明,设置点越高溅射沉积的薄膜金红石相越多,折射率也越高。
- 王军生童洪辉韩大凯王治安
- 关键词：PEM磁控溅射TIO2沉积速率
- 隔热膜
- 本发明属于隔热膜技术领域，具体涉及一种隔热性能好，且内可见光反射率低、外可见光反射率适中的准单向透视隔热膜。单基材结构隔热膜依次包括硬化层、第一基材层、化合物镀层、金属镀层、压敏胶层和防粘层；双基材结构隔热膜依次包括硬化...
- 王军生王治安童洪辉
- 文献传递
- 一种纳米陶瓷太阳膜
- 本发明涉及一种纳米陶瓷太阳膜，在基材PET的一面上依次磁控溅射镀制第一层二氧化钛膜、第二层氮化钛膜和第三层二氧化钛膜。基材PET的厚度为23～50μm。第一层二氧化钛膜的厚度为26nm～38nm。第二层氮化钛膜的厚度为2...
- 王治安刘维刘小华陈纳斯何山
- 文献传递
- 柔性基体上沉积大面积高均匀透明导电膜及其制备方法
- 本发明属于复合导电膜技术，具体涉及一种柔性基体上沉积大面积高均匀透明导电膜及其制备方法。该方法将PET柔性基体的一面贴在冷鼓上，采用中频反应磁控溅射孪生靶技术在PET柔性基体的另一面依次连续沉积氧化铟锡、银、钛、氧化铟锡...
- 王治安戴彬陈庆川王珂徐丽云
