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杨拥军: 作品数：13 被引量：27H指数：3; 供职机构：中国电子科技集团公司第十三研究所更多>>; 发文基金：国家重点实验室开放基金国防基金更多>>; 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程航空宇航科学技术更多>>

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SDB技术在MEMS加速度计中的应用: 2005年; 介绍了硅硅直接键合(SDB)技术的反应机理、实现方法和技术优势,重点阐述了SDB技术在MEMS加速度计中的应用;通过初步测试,表明利用SDB技术制作的加速度计具有很好的稳定性.; 吕树海罗蓉杨拥军吕苗; 关键词：MEMS 键合

电容式加速度传感器结构的计算机仿真被引量：6: 2002年; 针对硅梁论述了微机械电容式加速度传感器的工作原理,应用有限元分析方法对三种不同的硅梁结构对加速度计进行结构建模,并模拟分析了三种不同的梁的加速度计结构的第一和第二模态,1g加速度下的挠度,以及存在预应力情况下结构的第一、第二模态响应频率,得到了最优的双梁结构,并在试验中得到验证,最终研制出了高水平的电容式加速度传感器。; 吝海锋杨拥军郑锋; 关键词：加速度传感器有限元计算机仿真微机械

硅微型两自由度振动轮式陀螺仪的研究被引量：1: 2000年; 本文详细介绍了一种利用微电子加工工艺制作的硅微型两自由度振动轮式陀螺仪的新结构 ,分析了该种陀螺仪的工作原理 ,推导了陀螺仪动力学方程 ,并讨论了梳状谐振器的工作机理和陀螺仪模拟力反馈的闭环控制方案 ;; 苏岩王寿荣裘安萍周百令周百令李立杰

集成ASIC补偿电路的高温动态MEMS压力传感器: 2023年; 随着工业技术的进步,高温高动态压力传感器的应用需求显著增加。提出一种集成专用补偿电路的高动态硅压阻式微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)压力传感器,进行压力敏感芯片的结构设计和加工工艺设计,并对压力传感器进行封装和温度补偿电路设计。多层绝缘体上硅(Silicon On Insulator,SOI)材料能够使传感器在高温环境下正常工作。无引线的封装方式可有效提升传感器的频响性能。传感器后端集成了桥阻式专用集成电路(Application Specific Integrated Circuits,ASIC),能够显著减小传感器的体积,同时提升传感器整体性能。该MEMS传感器通过自动压力测试系统进行性能试验,结果表明MEMS压力传感器经过补偿后能够实现较高的线性度、稳定的零点输出特性以及理想的动态输出特性。; 胡英杰王伟忠杨拥军卞玉民李旭浩王晗; 关键词：压力传感器集成封装

新型硅-铝-硅结构MEMS加工技术及应用: 2005年; 提出了一种新型的硅-铝-硅结构的MEMS器件加工技术.采用了微电子工艺中的铝-硅烧结技术,将具有铝层的两个硅片键合在一起,并采用全干法深刻蚀技术在其中的一层硅片上进行MEMS器件的加工.该技术已成功应用到MEMS光开关及其他MEMS器件的制作中.; 徐永青杨拥军郑七龙李海军; 关键词：MEMS 体硅工艺光开关

梳齿差分电容式体硅微加速度计(英文)被引量：2: 2002年; 提出了一种体硅微加速度计的设计和制造方法,同时设计了它的闭环反馈伺服电路,分析了加速度计的质量块、悬臂梁和梳尺间隙对量程、非线性、灵敏度、抗冲击能力和带宽等特性的影响。已经加工出的微加速度计,其全量程为±60g,非线性度0.2%,带宽1kHz,灵敏度200mV/g,抗冲击能力10kg。对由加速度计结构设计、温度和伺服电路造成的零位漂移现象进行了分析,提出了一种制造微加速度计的新颖MEMS工艺———正面释放体硅工艺。; 何洪涛徐永青杨拥军吕苗郑锋吝海峰; 关键词：微机电系统

基于体硅工艺的微反射镜的原理性实验被引量：2: 2004年; 基于体硅工艺的微反射镜具有体积小、质量轻、驱动电压低、偏转角度大等优点,在激光敌我识别和光通信等领域都有着广泛的应用。该文设计了一种基于体硅工艺的微反射镜,其偏转角度可以通过驱动电压控制;对这种结构建立了理论模型,对吸合电压、吸合角度和固有频率进行了分析;简要介绍了这种微反射镜的加工工艺;并对微反射镜样机做了原理性实验研究。微反射镜镜面面积为1240μm×980μm,最大偏转角度约为2.6°,吸合电压约为27V,固有频率为750Hz左右。; 王子旸徐永青杨拥军尤政任大海; 关键词：物理光学仪器微光机电系统微反射镜激光

水平式隧穿磁强计的建模与仿真被引量：4: 2005年; 隧穿磁强计是一种基于量子力学中隧道效应原理的新型磁强计,该文给出了两种隧穿磁强计方案,一种是洛伦次力方向和敏感元件平面相互垂直的垂直式方案,另一种是洛伦次力方向和敏感元件平面相互重合的水平式方案,分析了垂直式方案的加工难点。建立了水平式隧穿磁强计的敏感元件——质量弹簧系统的模型,推导了系统刚度和1阶固有频率的计算式,应力仿真图、静力变形仿真图和1阶振型仿真图均符合设计要求,结果证明模型是正确的。; 汤学华尤政杨拥军; 关键词：隧穿效应磁强计微机电系统有限元

MEMS电容式加速度计可靠性研究被引量：1: 2005年; 探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分层失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机理分析.通过可靠性实验进行了验证,发现非致命的环境影响因素中,温度对电容式加速度计性能影响最大,最终完成了满足实用化要求的MEMS微加速度计设计.; 吝海锋吕苗杨拥军师谦郑锋恩云飞; 关键词：微电子机械系统电容式加速度计可靠性

推挽式线性驱动隧穿加速度计研究: 2005年; 介绍了隧穿加速度计的工作原理,设计了一种利用线性梳齿驱动、推挽式力平衡闭环控制的MEMS隧穿加速度计,采用体硅溶片工艺研制出了原理样机,由于结构和工艺简单,获得了较高的成品率,此技术还应用于隧穿陀螺仪和隧穿磁强计的研制.; 何洪涛杨拥军; 关键词：MEMS 隧穿效应加速度计