谢站磊
- 作品数：5 被引量：22H指数：3
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 高加速度超精密激光外差干涉测量模型被引量：7
- 2007年
- 为了精确地描述激光外差干涉在高加速度超精密测量中加速度对位移测量精度的影响机理与规律,建立了高加速度超精密激光外差干涉位移测量模型。通过分析测量棱镜三维运动对多普勒频移的影响,推导出高加速度激光外差干涉位移测量模型。理论分析和仿真实验表明,当测量加速度为9m/s2,匀加速运行的位移为500mm时,由于加速度变化引起的相对论性效应对测量精度的影响为5nm。高加速度超精密激光外差干涉位移测量模型的建立,可提高激光外差干涉在高加速度超精密测量中的测量精度,为激光外差干涉在高速和超高速测量领域的应用提供了理论依据。
- 陈洪芳丁雪梅钟志谭久彬王维雅谢站磊李海英
- 关键词：外差干涉加速度
- 减小外差干涉非线性误差一次谐波分量的方法与装置
- 减小外差干涉非线性误差一次谐波分量的方法与装置，现有该类系统和方法都很复杂。本发明包括：由双频激光器发出含有两种频率、两种偏振方向的光束；该光束经分光镜后分成两束光，其中反射光经检偏器由光电探测器接收形成参考信号；透射光...
- 谭久彬陈洪芳钟志谢站磊
- 文献传递
- 减小外差干涉一次谐波非线性误差的方法被引量：11
- 2007年
- 为了补偿激光外差干涉纳米测量中的非线性误差,提出了一种减小非线性误差的一次谐波方法。基于全反射理论分析了镀膜实体角锥棱镜反射光偏振特性,并由此推导出角锥棱镜反射光偏振特性及测量角锥棱镜以其运动方向为轴线的轴向旋转对激光外差干涉非线性误差一次谐波的影响模型。理论分析表明,测量角锥棱镜以其运动方向为轴线的轴向旋转会减小非线性误差一次谐波,当测量角锥棱镜轴向旋转97°时,可使非线性误差一次谐波达到最小,约为原有非线性误差一次谐波分量的1/20倍。当激光器出射的两束线偏振光存在6°非正交误差时,镀膜实体测量角锥棱镜轴向旋转角度从0°增加到97°,非线性误差一次谐波由5.30 nm减小到0.30 nm。
- 陈洪芳丁雪梅钟志谢站磊岳华
- 关键词：光电子学外差干涉角锥棱镜
- 起偏器对激光外差干涉非线性误差的影响被引量：4
- 2007年
- 根据外差干涉非线性误差的产生机理,建立了起偏器放置误差和相位延迟误差对非线性误差影响的理论模型,分别分析了起偏器放置误差和相位延迟误差对非线性误差的影响。仿真结果表明,起偏器放置误差引起的非线性误差为二次谐波,起偏器相位延迟偏离π/2会引起激光束的椭圆偏振化,引起一次谐波非线性误差,严重影响非线性误差的大小。当起偏器相位延迟误差为5°时,引起的非线性误差一次谐波达到4.40 nm。
- 陈洪芳丁雪梅钟志谢站磊岳华
- 关键词：激光外差干涉起偏器
- 减小外差干涉非线性误差一次谐波分量的方法与装置
- 减小外差干涉非线性误差一次谐波分量的方法与装置，现有该类系统和方法都很复杂。本发明包括：由双频激光器发出含有两种频率、两种偏振方向的光束；该光束经分光镜后分成两束光，其中反射光经检偏器由光电探测器接收形成参考信号；透射光...
- 谭久彬陈洪芳钟志谢站磊
- 文献传递
