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付虎

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：广东工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 2篇调度
  • 2篇重入
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体制造
  • 2篇PETRI网
  • 1篇调度仿真
  • 1篇调度研究
  • 1篇晶圆
  • 1篇晶圆制造
  • 1篇仿真

机构

  • 2篇广东工业大学

作者

  • 2篇付虎
  • 1篇伍乃骐
  • 1篇乔岩

传媒

  • 1篇机电工程技术

年份

  • 2篇2013
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
半导体制造中具有重入加工工艺的双臂组合设备的调度研究被引量：1
2013年
解决带重入加工工艺的双臂组合设备的调度问题是非常困难的。如果采用交换策略调度该系统,系统将处于一个3-晶圆周期性调度过程。为改善系统的运行过程及降低生产周期,给出了基于2-晶圆周期性调度方法的调度算法。该算法由解析表达式组成。因此执行非常有效。通过对比3-晶圆和2-晶圆调度方法,可有效的判断两种调度方法的优劣。最后,实例验证该方法的可应用性。
付虎伍乃骐乔岩
关键词：半导体制造PETRI网调度
半导体制造中具有重入的双臂组合设备的调度与仿真
半导体制造作为互联网和信息化的基础，它发展水平成为是一个国家现代经济和高科技力量的重要象征。随着半导体晶圆直径越来越大，组合设备(Clustertool)被越来越多的晶圆制造厂青睐。组合设备由多个加工模块和一个传输模块组...
付虎
关键词：晶圆制造PETRI网调度仿真半导体制造
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