吴金明
- 作品数：4 被引量：2H指数：1
- 供职机构：广东工业大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- CoTaZr-Al2O3软磁颗粒膜的性能研究及其电感仿真
- 随着电子工业，通讯技术的迅速发展和电子设备的不断小型化，电子元器件也趋于微型化，这就要求磁器件向小型化和高频化方向发展，具有高饱和磁化强度Ms、高电阻率ρ、高磁导率μ和低矫顽力Hc的高频软磁薄膜成为磁性材料发展的必然方向...
- 吴金明
- 关键词：纳米颗粒膜射频磁控溅射法软磁性能
- CoTaZr薄膜的制备及结构研究被引量：1
- 2012年
- 室温下采用直流磁控溅射法在玻璃基片上沉积CoTaZr薄膜。利用EDS、SEM、XRD等方法研究溅射气压、功率对CoTaZr薄膜成分、生长形貌和组织结构的影响。结果表明,溅射功率为96W时,沉积制备的薄膜成分随Ar气压变化不大,薄膜成分基本稳定。在溅射气压为2Pa、功率为96W时,成功制备出具有非晶+纳米晶结构的CoTaZr薄膜。在2Pa时,随着功率的增大,薄膜由1区、T区向3区转变;在96W时,随着气压的增大,薄膜由3区向T区或1区转变。
- 王粤谢致薇杨元政周林钟焕周吴金明
- 关键词：磁控溅射
- 一种生长具有金字塔形貌特征的钴薄膜的磁控溅射方法
- 本发明公开了一种生长具有金字塔形貌特征的钴薄膜的磁控溅射方法，该方法利用磁控溅射法，在没有施加直流偏置电压的条件下，通过控制溅射氩气气压、基片温度、金属靶与相应阳极罩之间的极间电压、极间放电电流，在二氧化硅玻璃上基片制备...
- 王粤谢致薇杨元政徐睿杰周林钟焕周蒋海林吴金明
- 文献传递
- (CoTaZr)<sub>x</sub>(Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>)<sub>1-x</sub>软磁纳米颗粒膜的制备与性能研究
- 2013年
- 采用射频磁控溅射法制备了一系列的(CoTaZr)x(Al2O3)1?x (x = 0.23,0.32,0.43)纳米颗粒膜,研究了溅射功率和气压对其软磁性能和微观组织结构的影响,结果表明,样品的电阻率随功率增大而递增,电阻率和饱和磁化强度都随气压先增大后减小,最佳溅射气压为2.5 Pa。磁性颗粒体积分数较高的样品具有较高的Ms,但电阻率相应较小,在x = 0.32时,试样的电阻率ρ为2.73 ±215;104 ±181;Ωcm,比饱和磁化强度Ms为56.8 emu/g。SEM分析结果表明,Al2O3颗粒均匀地分布在磁性颗粒之间。
- 吴金明谢致薇杨元政陈先朝何玉定
- 关键词：颗粒膜
