温雅
- 作品数：2 被引量：24H指数：2
- 供职机构：上海理工大学更多>>
- 发文基金：上海市教育委员会创新基金国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 飞秒激光脉冲能量对SF_6气体环境下硅表面尖峰结构形成的影响被引量：7
- 2012年
- 介绍了在SF6气体环境下由不同脉冲能量的飞秒激光在硅表面蚀刻出的尖峰结构的变化。其中,硅表面形成的尖峰高度先是随脉冲能量的升高而增加,然而当脉冲能量增加到一定程度时,脉冲能量的继续升高却会导致尖峰高度的降低。尖峰高度在开始阶段的增加是由于激光的消融作用;而过高的能量在前几百个脉冲入射后无法穿透到硅材料深处,聚集在硅表面的能量除了引发最外层的硅材料的飞溅,还使次外层的硅一直处于熔融状态,这种状态阻碍了尖峰结构的形成,即使后继能量顺利导入内部,但由于前一部分脉冲对尖峰结构的形成并无贡献,因此表面的尖峰高度反而有所降低。
- 温雅彭滟张冬生陈宏彦陈麟朱亦鸣
- 关键词：非线性光学飞秒激光脉冲能量
- 飞秒激光功率与脉冲数的比例关系对制备硅表面微结构的影响被引量：18
- 2011年
- 通过使用两种不同波长的飞秒激光脉冲分别与硅材料相互作用,证明了在相同的激光通量下,激光功率和脉冲数之间的比例将对硅表面微结构的形成起决定性作用。在飞秒激光与硅表面相互作用的过程中,脉冲数表征激光与样品之间的作用时间长短,决定了能量传递到材料内部的深浅程度;而激光功率则表征硅表面材料的消融与挥发程度。因此,恰当地选择激光功率和脉冲数能有效形成表面具有较高尖峰的微结构硅,从而获得在宽光谱范围内均具有高吸收效率的微纳硅基光伏材料。这一结果对表面微结构材料的有效制备、表面形态控制,及其相应的光电属性等都有着重要的意义。
- 彭滟温雅张冬生陈宏彦罗士达陈麟徐公杰朱亦鸣
- 关键词：激光技术微结构飞秒激光脉冲
