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袁乔
作品数:
38
被引量:23
H指数:3
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
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合作作者
黄惠杰
中国科学院大学
曾爱军
中国科学院上海光学精密机械研究...
张善华
中国科学院上海光学精密机械研究...
朱玲琳
中国科学院上海光学精密机械研究...
刘龙海
中国科学院上海光学精密机械研究...
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1篇
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1篇
2009
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轴锥镜锥角检测装置及其检测方法
一种轴锥镜锥角检测装置及其检测方法,该装置由平行光管、聚焦透镜和图像传感器组成,其位置关系是:沿所述的平行光管出射光束方向依次是所述的聚焦透镜和图像传感器,在所述的平行光管和聚焦透镜之间设置待测轴锥镜的插口。该装置具有结...
王莹
曾爱军
袁乔
黄惠杰
文献传递
波片相位延迟量与快轴方位角的实时测量装置和方法
一种波片相位延迟量与快轴方位角的实时测量装置和方法,该装置由准直激光器、圆起偏器、一维光栅、标准四分之一波片、第一渥拉斯顿棱镜、第二渥拉斯顿棱镜、第三渥拉斯顿棱镜、第一准直透镜、第二准直透镜、第三准直透镜、第一双象限探测...
曾爱军
朱玲琳
李凡月
袁乔
黄惠杰
文献传递
光束位置和角度的调节装置
一种用于光刻机曝光系统的光束位置和角度的调节装置,其特点在于该装置由沿光束前进方向依次的普通透镜、双焦镜、图像传感器和计算机构成,所述的普通透镜和所述的双焦镜的长焦距共焦点,所述的图像传感器感光面位于所述的双焦镜的后焦面...
张善华
曾爱军
袁乔
黄立华
任冰强
黄惠杰
文献传递
线起偏器
一种线起偏器,由第一等腰梯形棱镜、第二等腰梯形棱镜和偏振分束膜构成,其位置关系是:所述的偏振分束膜镀制在所述的第一等腰梯形棱镜或第二等腰梯形棱镜的底面上,所述的第一等腰梯形棱镜的底面和第二等腰梯形棱镜的底面相胶合。本发明...
袁乔
曾爱军
黄惠杰
文献传递
非球面面形的检测方法
一种非球面面形的检测方法,该方法包括以下步骤:根据待测非球面制作与之匹配的反射补偿镜;在移相干涉仪输出光束方向依次放入标准镜、待测非球面和反射补偿镜;调整光路;调整所述的待测非球面和所述的反射补偿镜之间的距离获得完整清晰...
杨宝喜
袁乔
曾爱军
李璟
陈明
黄惠杰
文献传递
用琼斯矩阵法分析别汉棱镜像面偏振态分布
被引量:3
2011年
基于反射定律的矢量式易于追迹复杂系统中光线的三维空间传播方向,计算了别汉棱镜每一面反射光线的方向,利用琼斯矢量法建立每一反射平面的琼斯矩阵以及面与面之间的传输矩阵,得到了一束线偏振平行光通过别汉棱镜后像面上的偏振状态分布,即经由2个屋脊面出射的光束是2个方位角不同的椭圆偏振光,这2个方位角的大小与入射线偏振光的振动方向有关。采用斯托克斯参量测量法,对别汉棱镜像面上偏振状态的分布进行了实验检测,得到了与理论分析一致的结果,指出别汉棱镜的偏振效应将会导致出射光束偏振状态的不均匀分布。
卢进军
袁乔
吕华
关键词:
偏振光
琼斯矩阵
别汉棱镜
偏振状态
高反射率凹轴锥镜的面形检测系统及检测方法
一种高反射率凹轴锥镜的面形检测系统及检测方法,检测系统包括:移相干涉仪、平面标准镜、工作台和调整架,待测凹轴锥镜固定在调整架上,其轴线与移相干涉仪的光轴平行且锥面朝向移相干涉仪的出光方向,调整架安装在工作台上,通过工作台...
曾爱军
魏张帆
袁乔
黄惠杰
文献传递
高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法
一种高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法,包括以下步骤:制作部分透光平板;在移相干涉仪输出的平行光束方向依次设置所述的部分透光平板和待测高反射率凹面锥形反射镜,所述的待测高反射率凹面锥形反射镜的锥面朝向移相干涉仪的出光方...
袁乔
曾爱军
张善华
黄惠杰
文献传递
八分之一波片相位延迟量测量装置和测量方法
一种八分之一波片相位延迟量的测量装置和测量方法,装置包括准直光源,特点在于其构成是:沿所述的准直光源发出的光束前进方向上,依次是偏振分光镜、四分之一波片、八分之一波片的插口、反射镜,在所述的偏振分光镜的反射光束方向上放置...
方瑞芳
曾爱军
刘龙海
朱玲琳
袁乔
黄惠杰
文献传递
四分之一波片相位延迟量分布实时测量装置和测量方法
一种四分之一波片相位延迟量分布实时测量装置和测量方法,装置的构成包括准直光源,沿所述的准直光源发出的光束前进方向上,依次是圆起偏器、标准四分之一波片、渥拉斯顿棱镜和图像传感器,该图像传感器的输出端接计算机,所述的渥拉斯顿...
曾爱军
刘龙海
袁乔
郑乐行
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