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主题

  • 3篇压力传感器
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  • 2篇相位调节
  • 2篇谐振

机构

  • 7篇西北工业大学

作者

  • 7篇王玉朝
  • 5篇苑伟政
  • 5篇乔大勇
  • 5篇任森
  • 4篇李小卿
  • 4篇吕湘连
  • 2篇赵海涛
  • 2篇丁继亮
  • 2篇袁广民
  • 2篇常洪龙
  • 2篇李慧敏

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 2篇2011
  • 2篇2010
  • 1篇2009
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
基于滑膜差动结构的硅谐振式压力传感器及其制作方法
本发明公开了一种基于滑膜差动结构的硅谐振式压力传感器及其制作方法,属于传感器技术领域。该硅谐振式压力传感器主要包括谐振器2、支撑柱1、压力敏感膜片3及边框4四部分,其中边框4上部与压力敏感膜片3四边相连,下部与压力敏感膜...
任森苑伟政乔大勇王玉朝吕湘连
文献传递
一种用于微机械谐振结构的闭环驱动电路
本发明公开了一种用于微机械谐振结构的闭环驱动电路,为一种基于限幅电路7、带通滤波器8、自动增益控制环路9和相位补偿电路12为主要组成的交流自动增益控制闭环自激驱动电路。首先,通过自动增益控制环路9调节环路的增益和通过相位...
乔大勇王玉朝任森苑伟政袁广民李小卿
一种用于微机械谐振结构的闭环驱动电路
本发明公开了一种用于微机械谐振结构的闭环驱动电路,为一种基于限幅电路7、带通滤波器8、自动增益控制环路9和相位补偿电路12为主要组成的交流自动增益控制闭环自激驱动电路。首先,通过自动增益控制环路9调节环路的增益和通过相位...
乔大勇王玉朝任森苑伟政袁广民李小卿
文献传递
静电驱动MEMS谐振式压力传感器闭环拓扑研究被引量:5
2011年
谐振式压力传感器闭环拓扑结构对保持机械谐振器振荡的稳定性和可靠性起着重要作用。针对一种典型结构的静电驱动电容检测MEMS谐振式压力传感器,在分析工作原理的基础上,构建了其混合信号模型。基于该模型搭建了自激振荡、自动增益控制、锁相环和带AGC的自激振荡四种闭环拓扑结构。在混合信号仿真平台下,对四种拓扑结构在起振状况、自动频率跟踪特性、抗冲击性和频率稳定性四个方面进行了仿真比较。结果表明,锁相环闭环拓扑结构表现出较好的综合性能。
王玉朝苑伟政任森乔大勇
关键词:MEMS谐振式压力传感器频率跟踪PLL
一种多表头陀螺数字化驱动及检测方法
本发明公开了一种多表头陀螺数字化驱动及检测方法,属于微机械陀螺信号处理领域。本方法通过数字方法产生载波V<Sub>i</Sub>,同时由驱动电路产生驱动信号V<Sub>d1</Sub>,V<Sub>d2</Sub>…V<...
常洪龙李小卿李慧敏赵海涛丁继亮吕湘连王玉朝
文献传递
基于滑膜差动结构的硅谐振式压力传感器及其制作方法
本发明公开了一种基于滑膜差动结构的硅谐振式压力传感器及其制作方法,属于传感器技术领域。该硅谐振式压力传感器主要包括谐振器2、支撑柱1、压力敏感膜片3及边框4四部分,其中边框4上部与压力敏感膜片3四边相连,下部与压力敏感膜...
任森苑伟政乔大勇王玉朝吕湘连
文献传递
一种多表头陀螺数字化驱动及检测方法
本发明公开了一种多表头陀螺数字化驱动及检测方法,属于微机械陀螺信号处理领域。本方法通过数字方法产生载波V<Sub>i</Sub>,同时由驱动电路产生驱动信号V<Sub>d1</Sub>,V<Sub>d2</Sub>…V<...
常洪龙李小卿李慧敏赵海涛丁继亮吕湘连王玉朝
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