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胡庆
作品数:
1
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供职机构:
电子科技大学光电信息学院
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发文基金:
创新研究群体科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
赖建军
武汉国家光电实验室
黄光
武汉国家光电实验室
陈鹏杰
电子科技大学光电信息学院
董翔
电子科技大学光电信息学院
王宏臣
武汉国家光电实验室
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磁控溅射
机构
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电子科技大学
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武汉国家光电...
作者
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何少伟
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蒋亚东
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王宏臣
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董翔
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陈鹏杰
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黄光
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胡庆
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赖建军
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1篇
半导体光电
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1篇
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磁控溅射纳米VO_2(B相)热敏薄膜的制备
2012年
利用磁控反应溅射镀膜方法在低温(250℃)条件下制备了主要成分为B相亚稳态二氧化钒(VO2)的薄膜材料。电学性能测试表明:室温下该薄膜的方块电阻为50kΩ左右,电阻温度系数为-2.4%/K,可以作为非致冷红外微测热辐射热计的热敏材料。
何少伟
陈鹏杰
胡庆
董翔
蒋亚东
赖建军
王宏臣
黄光
关键词:
二氧化钒薄膜
磁控溅射
微测辐射热计
非致冷红外探测器
电阻温度系数
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