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董露荣
作品数:
4
被引量:10
H指数:1
供职机构:
中国船舶重工集团公司第七一八研究所
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相关领域:
金属学及工艺
化学工程
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合作作者
柳彤
中国船舶重工集团公司第七一八研...
王少波
中国船舶重工集团公司第七一八研...
付嫚
中国船舶重工集团公司
隋希平
中国船舶重工集团公司
彭立培
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中国船舶重工...
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王少波
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柳彤
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董露荣
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舰船科学技术
年份
1篇
2009
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氟化钠吸附氟化氢最佳工艺参数测定
被引量:9
2009年
氟化钠(NaF)是一种很好的吸附剂,有着吸附氟化氢(HF)的特性,在电子气体的生产中经常被用来吸附HF,在含氟电子气体的纯化工艺中有着极为重要的应用。本文通过正交实验测定氟化钠在不同的吸附条件下吸附氟化氢杂质的吸附效果,对实验结果进行方差分析,并评价了各因素对吸附效果的影响。实验表明:NaF对HF有很好的吸附能力,在最佳的操作条件下,吸附率达100%;适合的吸附温度为20℃~80℃;吸附率随气体流量的增大而降低;压力对吸附率的影响不明显。
柳彤
王少波
董露荣
关键词:
氟化钠
氟化氢
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