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周剑

作品数：10 被引量：44H指数：4
供职机构：国防科学技术大学机电工程与自动化学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金浙江省教育厅科研计划中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
相关领域：电子电信电气工程自动化与计算机技术文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇电气工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 3篇声表面波
  • 3篇声表面波器件
  • 3篇溅射
  • 3篇衬底
  • 2篇电池
  • 2篇压电薄膜
  • 2篇柔性衬底
  • 2篇太阳能电池
  • 2篇铜铟镓硒
  • 2篇铜铟镓硒薄膜...
  • 2篇缓冲层
  • 2篇溅射功率
  • 2篇薄膜太阳能电...
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇单片
  • 1篇单片机
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化铝
  • 1篇氮化铝薄膜

机构

  • 6篇浙江大学
  • 5篇国防科学技术...
  • 1篇福建工程学院
  • 1篇岳阳师范学院
  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 10篇周剑
  • 6篇金浩
  • 5篇王德苗
  • 4篇肖定邦
  • 3篇何兴理
  • 3篇吴学忠
  • 2篇李远东
  • 2篇董树荣
  • 2篇陆静苹
  • 2篇侯占强
  • 1篇张艳雯
  • 1篇骆季奎
  • 1篇彭振国
  • 1篇尚建忠
  • 1篇李文印
  • 1篇吴宇列
  • 1篇胡启俊
  • 1篇冯斌

传媒

  • 2篇光学精密工程
  • 1篇自动化与仪表
  • 1篇真空
  • 1篇高等教育研究...
  • 1篇国防科技
  • 1篇压电与声光
  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇传感器与微系...
  • 1篇第九届华东三...

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 2篇2015
  • 1篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2011
  • 1篇2001
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于ZnO/Si结构的声表面波器件设计研究被引量：4
2013年
微机电系统(MEMS)工艺已被广泛用于制造各种硅基薄膜器件。声表面波(SAW)器件是性能优良的MEMS器件。该文利用多物理耦合场软件COMSOL Multiphysics仿真了氧化锌/硅(ZnO/Si)结构SAW谐振器,并得到其S11参数。对应于仿真,该文制造了该种结构的SAW器件。实验所用的ZnO通过射频磁控溅射制备,所制备的ZnO具有良好的(002)取向。实验测得的ZnO/Si结构SAW器件的中心频率为111.6MHz,与仿真结构接近。
何兴理周剑金浩董树荣王德苗
关键词：声表面波氧化锌硅
极端环境下压力传感器的研究进展被引量：11
2015年
极端环境下压力传感器在喷气发动机、火箭、导弹、卫星等国防军工领域有着广阔的应用前景。首先对国内外可应用于极端环境压力传感器的关键技术:SOI制造技术、溅射薄膜技术、金刚石薄膜技术、声表面波无线无源传感技术、Si C高温压力传感技术及其应用情况做回顾论述,并针对各自的主要优缺点进行对比分析和讨论,最后展望了极端环境压力传感器的发展趋势。
周剑侯占强肖定邦
关键词：极端环境高温
机械工程研究生课程体系建设的思考被引量：4
2016年
对国内外一流大学机械工程研究生课程体系进行了调研,重点探讨分析了国外的麻省理工学院和国内的清华大学机械工程学科课程体系设置和课程培养方案设置;对比分析了我校机械工程研究生课程存在的差距与建设方向。对我校机械工程研究生课程体系进行了优化设计。从教学力量建设、教学内容改革、教材编著和网络资源建设等方面提出了我校机械工程研究生一流课程体系的建设思路。
肖定邦周剑吴学忠尚建忠吴宇列
关键词：机械工程课程体系
基于单片机的JDIA型电机控制器的技术改造被引量：2
2001年
文中对手操普通型电磁调速电动机控制器进行了技术改造 ,提高了控制器的控制精度和效果 ,并且提供了与上层主机的串口通信 。
彭振国张艳雯周剑
关键词：单片机滑差电机
溅射功率对铜铟镓硒薄膜太阳能电池缓冲层InxSy的影响
采用射频磁控溅射技术在玻璃上制备InxSy缓冲层,溅射功率范围从30W到100W.通过能量色散X射线光谱仪(EDX)、扫描电子显微镜SEM和紫外分光光度计检测在不同溅射功率条件下制备的InxSy薄膜表面形貌、元素组成和光...
王德苗陆静苹金浩周剑李远东
关键词：铜铟镓硒薄膜太阳能电池溅射功率缓冲层
文献传递
基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波器件被引量：15
2014年
提出并制备了基于聚酰亚胺柔性衬底的声表面波(SAW)器件。在柔性聚酰亚胺衬底上低温反应磁控溅射沉积了ZnO压电薄膜;采用X射线衍射仪,扫描电子显微镜,原子力显微镜等设备对ZnO薄膜进行了检测,结果表明:ZnO薄膜晶粒呈柱状生长并且(002)择优取向,膜粗糙度小于9nm,适合制作压电器件。在柔性衬底上制备了基于ZnO压电薄膜的SAW器件,该器件表现出良好的谐振性能。采用矢量网络分析仪检测器件的传输曲线,实验结果与仿真结果具有很好的一致性。随着波长减小,谐振频率和相速度增加,当ZnO厚度为4μm,波长为8μm时,器件的谐振频率为268MHz,相速度为2 144m/s,机电耦合系数为1.1%;当ZnO厚度增加时,此叠层结构的声表面器件的叠层声速也增加。
周剑何兴理金浩王德苗骆季奎
关键词：柔性衬底ZNO薄膜压电薄膜声表面波器件
柔性声表面波器件的波模式分析被引量：5
2016年
用反应磁控溅射法在柔性聚酰亚胺衬底上沉积了ZnO压电薄膜,并制备了基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波(SAW)器件。制备的柔性SAW器件显示了良好的谐振性能,而且展现出两个波模式:模式0和模式1。当波长为32μm,ZnO厚度为4μm时,SAW器件的模式0和模式1的谐振频率分别为34.4MHz和158.5MHz,对应声速为1 100.8m/s和5 072m/s。模式0为已知的瑞利波,模式1为新的高频模式。沉积了不同厚度的ZnO薄膜制备柔性SAW器件,进一步分析了薄膜厚度对SAW器件和模式1的影响。分析认为该高频模式不是传统硬质衬底上SAW器件产生的Sezawa波,而是S_0兰姆波,并且是有衬底情况下的S_0兰姆波。文中还采用Comsol仿真分析了新的高频模式1的粒子振动位移,结果和S_0兰姆波粒子振动位移一致,从而验证了其为广义兰姆波的正确性。
周剑吴学忠肖定邦何兴理金浩董树荣张伟策
关键词：声表面波器件柔性衬底压电薄膜
溅射功率对铜铟镓硒薄膜太阳能电池缓冲层In_xS_y的影响
2013年
采用射频磁控溅射技术在玻璃上制备In x S y缓冲层,溅射功率范围从30 W到100 W。通过能量色散X射线光谱仪、扫描电子显微镜和紫外分光光度计分别检测在不同溅射功率条件下制备的In x S y薄膜表面形貌、元素组成和光学特性。结果表明随着功率的增加,In x S y薄膜晶粒尺寸增加,硫元素含量比率增加并趋于平缓,光学禁带宽度先增加后减小。溅射功率为80 W时禁带宽度最大为2.75 eV,适合高效率In x S y/CIGS太阳能电池。
陆静苹王德苗金浩周剑李远东
关键词：射频磁控溅射太阳能电池
反应磁控溅射制备c轴择优取向氮化铝薄膜的研究进展被引量：2
2011年
AlN薄膜在力学、光学和电子学中有着广泛的应用,而反应磁控溅射技术由于沉积温度低,成本低,非常适合沉积应用于GHz通信系统中体声波(BAW)和表面声波(SAW)器件的(002)取向的AlN薄膜。本文先概述了反应溅射的两个模型,然后综述了工艺参数包括溅射气压、溅射功率、氮气浓度、衬底温度、衬底种类、靶基距、薄膜厚度、衬底偏压、退火处理等对AlN薄膜生长和性能的影响。
周剑赵楷冯斌金浩王德苗
关键词：氮化铝反应溅射工艺参数
面向TGV衬底的玻璃回流的流动建模被引量：2
2017年
在微机电系统(MEMS)圆片级封装工艺中,为了给制作玻璃通孔(TGV)衬底的玻璃回流工艺提供理论指导意见,提出并建立了一个玻璃回流通用模型,研究槽深、槽宽、温度、时间参数对玻璃回流的影响,并推导出在一定槽宽,槽深,温度下的玻璃在微细槽内流动长度随时间的变化关系。建立玻璃在微细槽内的数学流动模型,运用流体力学的知识,结合微细流体的特征,通过一系列理论分析、推导和简化运算,得出玻璃回流长度随时间等参数的理论变化公式。然后进行玻璃回流实验,当玻璃在恒温T0=800℃、槽宽2b=200μm、槽深L=1 000μm时,观察并记录玻璃在微细槽内流动长度随时间的变化。将理论回流曲线与实验数据点进行对比,结果表明:实验回流曲线与理论回流曲线趋势一致,且数值基本相符。证明了理论模型及其分析过程的正确性。表明理论分析模型对TGV玻璃回流工艺参数可提供一定的理论指导。
胡启俊周剑李文印侯占强肖定邦吴学忠
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