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胡洁
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2
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供职机构:
中山大学物理科学与工程技术学院光电材料与技术国家重点实验室
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相关领域:
理学
一般工业技术
自动化与计算机技术
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合作作者
周丽丹
中山大学物理科学与工程技术学院...
江绍基
中山大学物理科学与工程技术学院...
何依婷
中山大学物理科学与工程技术学院...
陈少飞
中山大学物理科学与工程技术学院...
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柔性衬底沉积AZO/Ag/AZO透明导电薄膜及其光电性能研究
2016年
为了满足透明导电薄膜轻便、可折叠、高分辨率及快速响应的需求,在AZO单层透明导电薄膜研究基础上,尝试在柔性PET衬底上制备AZO/Ag/AZO三层透明导电薄膜。先利用光学薄膜设计软件对膜系进行设计优化,再参照此优化值制备研究不同AZO、Ag层对AZO/Ag/AZO薄膜光电性能的影响。通过合理的实验设计与对比,发现在柔性PET衬底上制备的三层AZO薄膜与在硬质衬底上制备的薄膜光电性能相当,且当三层AZO/Ag/AZO薄膜中AZO层厚度在40~45nm,Ag层厚度8nm时,在可见光波段的透过率高达到92%,电阻率低至4.0×10^(-5)Ω·cm,透明导电薄膜的品质因子最高为12.6×10^(-2)Ω^(-1)。得到的AZO/Ag/AZO三层透明导电薄膜具有与常见的ITO薄膜相比拟的性能。
周丽丹
胡洁
朱刚毅
陈少飞
何依婷
江绍基
关键词:
透明导电薄膜
柔性衬底
直流磁控溅射
射频磁控溅射及快速热退火法制备多晶硅薄膜的研究
随着新能源需求不断增大和电子信息科技不断发展,太阳能电池作为利用太阳能源有效的方式备受亲睐。多晶硅薄膜太阳能电池因其优良的光电性能及相对廉价的生产成本成为国内外太阳能薄膜电池产业关注的热点。如何提高薄膜太阳能电池的转换效...
胡洁
周丽丹
江绍基
关键词:
太阳能电池
磁控溅射
快速热退火
多晶硅薄膜
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